2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
已閱讀1頁,還剩60頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內(nèi)容提供方,若內(nèi)容存在侵權(quán),請進行舉報或認領(lǐng)

文檔簡介

1、隨著電子信息技術(shù)的發(fā)展,磁感應元件越來越向微型化、集成化、高頻化方向發(fā)展,而電磁干擾和電磁污染的逐步增加,也使我們對吸波材料提出了更高的要求。因此,具有高飽和磁化強度和良好高頻動態(tài)特性的軟磁性薄膜越來越受到重視,對高頻軟磁性薄膜的深入研究對于滿足這些需求具有重要的意義。 FeCo合金因為具有最高的飽和磁化強度而備受關(guān)注,但是FeCo合金因具有較大的磁晶各向異性和磁滯伸縮系數(shù)而難以實現(xiàn)軟磁性能。最近的研究表明Fe70Co30N、

2、Fe60Co40N、Fe81Co19N薄膜具有良好的軟磁性能,但其熱穩(wěn)定性能很差,當退火溫度高于200℃時,其軟磁性能基本消失。在FeCoN體系中摻入適當?shù)脑赜欣诟纳破錈岱€(wěn)定性,因此本文工作用磁控濺射方法制備了一系列Fe:Co原子比為64.8:35.2的FeCoAlN薄膜,對它們的結(jié)構(gòu)、靜態(tài)磁性、動態(tài)磁性及熱穩(wěn)定性進行了研究。研究結(jié)果表明:FeCoAlN薄膜可以實現(xiàn)良好的軟磁性和高頻特性,并且(Fe64.8Co35.2)AlN薄膜的

3、熱穩(wěn)定性隨著Al含量的提高而得到顯著改善。主要結(jié)果如下: (1)Al含量為3.7%的濺射態(tài)(Fe64.8Co35.2)96.3Al3.7N薄膜,在N2/(Ar+N2)流量比(R)為9%時表現(xiàn)為良好的軟磁性和面內(nèi)單軸各向異性,磁導率譜表現(xiàn)出良好的高頻特征,自然共振頻率大于2GHz,磁導率實部在衰落前大于400。 (2)R為9%的(Fe64.8Co35.2)AlN薄膜,當Al含量小于6.2%時,在濺射態(tài)表現(xiàn)出良好的軟磁性和單

4、軸各向異性,動態(tài)磁性表現(xiàn)為良好的一致共振模式,共振頻率大于2GHz,隨著Al含量進一步的增加,由于薄膜中應力的增加,矯頑力增大,單軸各向異性不明顯,動態(tài)表現(xiàn)變差。 (3)薄膜的磁性熱穩(wěn)定性隨著Al含量的提高明顯改善,不同Al含量的薄膜在不同的最優(yōu)退火溫度Topt以上熱處理60 min后,由軟磁性和單軸各向異性向硬磁和各向同性轉(zhuǎn)變,動態(tài)磁性也相應變差,而最優(yōu)退火溫度Topt隨著Al含量的增加而提高。不含Al的(Fe64.8Co35

5、.2)N薄膜在150℃熱處理時仍然保持較好的軟磁性和動態(tài)特征,但在200℃熱處理后,矯頑力急劇增加,難軸各向異性消失,磁導率很低,沒有共振現(xiàn)象出現(xiàn)。含Al為13.5%的薄膜在400℃熱處理后仍然保持良好的軟磁性、單軸各向異性和一致共振的動態(tài)特性,自然共振頻率1.89GHz,磁導率實部在衰落之前大于380。 (4)濺射態(tài)(Fe64.8Co35.2)93.8Al6.2N薄膜的飽和磁化強度隨著膜厚的變化幾乎沒有變化,這說明飽和磁化強度

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當內(nèi)容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論