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文檔簡(jiǎn)介
1、隨著引線鍵合技術(shù)向著細(xì)密化、高精度的方向發(fā)展,視覺(jué)系統(tǒng)已經(jīng)成為影響IC封裝精度的重要因素之一。本論文對(duì)引線鍵合機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)的組成進(jìn)行分析,并分別對(duì)其主要部分:光學(xué)系統(tǒng)、視覺(jué)系統(tǒng)標(biāo)定以及模式識(shí)別定位算法進(jìn)行了研究,全文工作和取得的成果如下:
在分析引線鍵合機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)的構(gòu)成基礎(chǔ)上,確定了其基本結(jié)構(gòu),并對(duì)其硬件進(jìn)行了選擇。同時(shí)根據(jù)引線鍵合機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)的視覺(jué)定位作用,給出了視覺(jué)系統(tǒng)示教階段和鍵合階段的工作流程。
針對(duì)引線
2、鍵合機(jī)視覺(jué)系統(tǒng)視覺(jué)定位的特點(diǎn),設(shè)計(jì)了其顯微光學(xué)系統(tǒng)。顯微成像系統(tǒng)采用兩級(jí)放大來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)成像放大倍數(shù)和物距要求,放大倍數(shù)為4倍,工作物距為47mm。采用臨界照明來(lái)對(duì)工作區(qū)域提供穩(wěn)定均勻的照明條件。
對(duì)攝像機(jī)的標(biāo)定算法進(jìn)行了研究,將平面自標(biāo)定方法首次應(yīng)用于顯微系統(tǒng),并提出了標(biāo)定精度的分析方法。通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)對(duì)精度進(jìn)行了分析,標(biāo)定實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示相對(duì)于芯片的標(biāo)定精度可以達(dá)到±2μm,能夠滿足高精度的視覺(jué)定位對(duì)系統(tǒng)標(biāo)定的要求。
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