

已閱讀1頁,還剩63頁未讀, 繼續(xù)免費閱讀
版權說明:本文檔由用戶提供并上傳,收益歸屬內容提供方,若內容存在侵權,請進行舉報或認領
文檔簡介
1、在現(xiàn)代集成電路中,MOS器件的特征尺寸已降到100nm以下。器件的各部分作為一個相互聯(lián)系的整體,某些部分的尺寸是微米量級,但某些部分的尺寸卻是納米量級,因此器件得以工作的載流子輸運機制既牽涉到經典的漂移—擴散輸運機制,也牽涉到量子隧穿、熱載流子發(fā)射以及各種散射輸運機制。這給器件的物理分析帶來了前所未有的難度。針對納米量級器件建立行之有效的解析理論分析模型已成為微電子學與固體電子學研究者十分關注并著力研究的重要問題。 本論文針對納
2、米量級MOS器件,采用先進的格林函數法來處理載流子的輸運問題。這種方法的特點是數學處理困難,但是可以處理復雜輸運機制,如:彈道輸運和散射輸運。并且可以得到更為準確可靠的結果,特別適合分析線度小于30rim的器件有源區(qū)的輸運特性。論文首先介紹了格林函數法的特點及其應用于分析器件中特殊問題的處理方法。然后以柵長為20nm,氧化層厚度為3-5nm的雙柵MOSFET為研究對象,應用格林函數法詳細分析并給出了器件的特性變化規(guī)律,然后給出了一個包含
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明,都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等,如果需要附件,請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙,網頁內容里面會有圖紙預覽,若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
- 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間,僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理,對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯,并不能對任何下載內容負責。
- 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容,請與我們聯(lián)系,我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 納米MOS器件中的量子效應分析及其模擬.pdf
- 新型納米MOS器件研究.pdf
- 非參數估計在分層媒質并矢格林函數快速計算中的應用.pdf
- 納米MOS器件TID與HCI效應關聯(lián)分析.pdf
- 格林函數-共軛梯度法-快速傅立葉變換在近場光學成像中的應用.pdf
- 基于非平衡格林函數的量子動力學場發(fā)射理論.pdf
- FDTD與格林函數算法在PSTM成像中的應用.pdf
- 32312.多體格林函數理論在碳納米管光譜中的應用
- 應變硅納米MOS器件研究.pdf
- 納米MOSFET的數值模擬——非平衡Green函數方法.pdf
- 納米線圍柵MOS器件關鍵工藝研究.pdf
- 新型納米MOS器件工藝與特性研究.pdf
- 納米MOS器件含時輸運特性的研究.pdf
- 非凸函數在圖像復原中的應用.pdf
- 賦值法在抽象函數中的應用
- 考慮粘性影響的時域格林函數法.pdf
- 新型納米SOI MOS器件結構分析與可靠性研究.pdf
- 超大型浮體水彈性分析的平板格林函數法.pdf
- 納米MOS器件中直接隧穿過程的研究.pdf
- 納米MOS器件低頻噪聲關鍵問題研究.pdf
評論
0/150
提交評論