MEMS應(yīng)力測試研究.pdf

1、圖書分類號 至塑2 密級韭蜜U D C碩士學(xué)位論文M E M S 應(yīng)力測試研究指導(dǎo)教師( 姓名、職稱)申請學(xué)位級別鄭麗娜薛晨陽副教授工學(xué)碩士專業(yè)名稱 堂皇王堂皇固簽皇王堂——論文提交日期! 壘! ! 年! ! 月壟日論文答辯日期呈壁壘Z 年壁蘭月! ! 日學(xué)位授予日期——年 月 日論文評閱人 蔓墮墨塾堡 墅鲞型墼堡——答辯委員會主席 塞疊塾堡 一2 0 0 7 年3 月2 5 日中北大學(xué)學(xué)位論文T h e S t u d y o f S

2、 t r e s sT e s t f o rM E M SA b s t r a c tA t p r e s e n t ，t h e i n d u s t r i a l d e g r e e o f M E M S ( M i c r o E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m )t e c h n o l o g yi sl o w ；t h i s i sb e c a

3、 u s eo f i n a c c u r a c ym a t e r i a lp a r a m e t e r , b a dp r o c e s sc o n t r o la n du n o b v i o u sf a i l u r em e c h a n i c s ：A l lo f t h e s ep r o b l e m sh a v el e a dt o u n s t a b l ep e r

4、 f o r m a n c e ，l o wr a t e o f f i n i s h e dp r o d u c t sa n d b a dr e l i a b i l i t y ．T h eb a s i cr e a s o nm a k i n ga b o v e p r o b l e m sc o u l dn o tb es o l v e df o ra l o n gt i m ei sd u e t

5、ot h ew e a k n e s so f m e a s u r e m e n tt h e o r ya n d t e c h n o l o g yf o u n d a t i o n , S Oa st ot h ep r o b l e m sa p p e a r i n g i nt h e c o u r s eo f d e s i g n ，f a b r i c a t i o n ，p a c k a

6、 g ea n da p p l i c a t i o no f m i c r o s t r u c t u r ea n d m i c r o d e v i c e sc o u l d n o t b ef o u n d ．T h i sp a p e ri s b a s e do nt h em e a s u r e m e n to n t h em e c h a n i c a lc h a r a c t

7、e r i s t i c so fM E M Sm a t e r i a l ，t os o l v e t h eb a s e dt h e o r ya n d m e a s u r e m e n tt e c h n o l o g yo f M E M S s t r e s st e s t ，a n d t or e s e a r c h t h e p r o c e s s r e s i d u a l s

8、 t r e s s o n d i f f e r e n t s t r u c t u r e p a r a m e t e r s o fs u r f a c e ·m i c r o m a c h i n i n gs t a n d a r d i z e ds t r u c t u r e ，a n da l s ot or e s e a r c ht h ed y n a m i cs t r e s

9、 s t e s tm e t h o do na p p l i c a t i o na n dl o a do fM E M S d e v i c e ．T h ep u r p o s e o f t h i sp a p e r i sj u s tt os u p p l yt h e o r ya n dd a t af o r t h e s t r u c t u r e d e s i g n a n d p r

10、o c e s so fM E M S d e v i c e s ，f u r t h e r m o r e ，t oi m p r o v e t h e p e r f o r m a n c e ，t h e r a t eo f f i n i s h e d p r o d u c t sa n dt h e r e l i a b i l i t yo f M E M S d e v i c e ．T h i sp a

11、p e rm a i n l yr e s e a r c h e st h eb a s e dt h e o r i e sa n de x p e r i m e n t sm e t h o d sf o rt h es t r e s so fM E M S f r o mt w oa s p e c t s ．O n eh a n d ，t h ew o r k o f t h i sp a p e r i sb a s e

12、 do nt h e r e s i d u a l s t r e s st e s t o f t h e m i c r o —s t r u c t u r e ，b a s e d o n R a m a n ，t e s t i n g t h e r e s i d u a l s t r e s s o fs u r f a c e —m i c r o m a c h i n i n gs t a n d a r d

13、i z e d s t r u c t u r e s i n d i f f e r e n t s t r u c t u r e p a r a m e t e r s ，a n dt h ec o r r e s p o n d i n g s t r e s sd i s t r i b u t i o nc h a r a c t e r i sa l s os t u d i e d ．T h eo t h e r h a

14、 n d ，d y n a m i cs t r e s st e s to nd r i v i n g m i c r o —d e v i c e a l s o h a sb e e n d o n e ，r e s e a r c h i n g t h ed y n a m i c c h a r a c t e rt e s t o fe l e c t r o s t a t i cd r i v i n gm i c

15、r o - d e v i c e b a s e d o n t h em i c r o s y s t e ma n a l y z e r , t h e nt h ed y n a m i cs t r e s st e s tb a s e d o nR a m a n i sc a r r i e do u t ；I na d d i t i o n ，t h ep r e l i m i n a r ym e a s u

16、 r e m e n t o f t h e d y n a m i cs t r e s sf o r e l e c t r o m a g n e t i c l o a d i n g m i c r o - s t r u c t u r e i sa l s oi m p l e m e n t e d ．T h e c h i e f s t u d i e d r e s u l t sa r ea sf o l l o