凈房管理及靜電防護(hù)

1、1,,凈房操作及管理規(guī)范,2,主要內(nèi)容,一 基本術(shù)語(yǔ)二 凈化的一些基礎(chǔ)知識(shí)三 凈化房的設(shè)計(jì)四 凈化房的管理五 靜電防護(hù),3,1 凈房(Clean Room) 是指一個(gè)著重清潔管理,空氣中懸浮粒子濃度受控的 空間，在這空間中保證空氣中浮游微粒子滿足規(guī)定的凈化 等級(jí)，所使用的材料、藥液也要保持一定的清潔度，而且 根據(jù)需要，對(duì)溫度、濕度、壓力等環(huán)境條件加以監(jiān)督和管 理。,一 基

2、本術(shù)語(yǔ),控制的因素包括溫度、濕度、壓力、清潔度、靜電對(duì)策、喚氣次數(shù)、吹出風(fēng)速、噪音、保養(yǎng)頻度、作業(yè)衣等級(jí)、人員數(shù)。,4,2 潔凈度(Cleanliness) 指每立方英尺的空氣中含有大于0.5μm直徑的塵埃數(shù)量。,由于LCD（液晶顯示器）的盒厚間隙極其微小，只有4~8um（微米），而人的頭發(fā)絲直徑一般是幾十微米，空氣中能看到的粉塵一般也是十幾個(gè)微米以上，同時(shí)還有許多看不到的塵埃。如果在制作LCD時(shí)有一些看得見或看

3、不見的塵埃、雜質(zhì)落在屏上，就會(huì)被污染，造成顯示缺陷。 這就決定了LCD的生產(chǎn)過程是必須在高度清潔的環(huán)境下進(jìn)行.,5,3 高效空氣過濾器（HEPA） (High Efficiency Particular Air Filter) 在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于等于0.3um粒子的捕集效率 在99.9%以上及氣流阻力在250Pa以下的空氣過濾器。,4 自凈時(shí)間（Cleanliness Vec

4、overyly Characteristic) 潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)的時(shí)間。,6,5 空態(tài) (as-built) 設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、 材料及人員。,6 靜態(tài) (as-rest) 設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應(yīng)商同意的狀態(tài)運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)人員。,6 動(dòng)態(tài) (operational

5、) 設(shè)施及生產(chǎn)設(shè)備按規(guī)定的狀態(tài)運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀況下進(jìn)行工作。,7,二 凈化的一些基礎(chǔ)知識(shí),大氣中的含塵濃度,8,9,10,灰塵的特征和來(lái)源,灰塵按形態(tài)分為：固態(tài)、液態(tài)、氣體和其他,其他：光、電磁噪聲、靜電、振動(dòng)、細(xì)菌等 ；,氣體：煙、呼氣、各種溶劑；,液體：人的汗水、水、油等；,固體：人體的頭發(fā)、皮屑、衣服的纖維、美容的 面粉粉底、垃圾、粉末、各種材料的粉末；,11,灰塵的特征和來(lái)源

6、,灰塵的類別,按存在的位置劃分： 人體攜帶內(nèi)部灰塵； 附著灰塵； 浮游灰塵； 大氣灰塵； 地面灰塵； 內(nèi)墻壁灰塵； 摩擦灰塵；,12,灰塵的特征和來(lái)源,人體、衣物、設(shè)備、建筑物和外部空氣灰塵；,人體脫落微粒子：,21億個(gè)/日（大于0.3μm） 126億

7、個(gè)/周（工作日）,13,14,作業(yè)者的行動(dòng)使污染增加程度,15,16,潔凈室粒子來(lái)源分析,17,三 凈化房的設(shè)計(jì),18,在凈化室進(jìn)行灰塵的收集是HEPA過濾器0.3μm以上的粒子捕集率為99.97%以上，使大多數(shù)粒子不能通過 。,凈化系統(tǒng),凈化系統(tǒng),19,凈化空氣的循環(huán)方式,20,水平層流,21,22,凈化空氣的循環(huán)方式,各種氣流方式比較,23,24,混合段：可根據(jù)需要安裝對(duì)開風(fēng)量調(diào)節(jié)閥,使新風(fēng)和回風(fēng)按一定的比例在空調(diào)箱內(nèi)混合,可供選擇

8、的控制方式有：手動(dòng)、氣動(dòng)和電動(dòng)三種型式。 為了配合空調(diào)系統(tǒng)集中控制的需要,空氣處理機(jī)可以配置比例式電動(dòng)風(fēng)閥并可 實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)控制。,冷卻段：表冷器安裝在冷凝水盤上,當(dāng)表冷器呈雙層布置時(shí),上層的表冷器也可配有一個(gè)冷凝水盤,避免上層表冷器的冷凝水流到下層表冷器的翅片上,影響熱交換性能。,,加熱段：MDM空氣處理機(jī)可配置熱水加熱盤管、蒸汽加熱盤管及電加熱功能段。,,,,加濕段：通?？諝馓幚頇C(jī)的加濕形式有：干蒸汽加濕、高壓噴霧加濕、濕膜加濕器和電極

9、式加濕, 也可根據(jù)用戶的需要選擇其它的加濕形式。,25,風(fēng)機(jī)段：風(fēng)機(jī)采用前傾，后傾，機(jī)翼型三種型式, 風(fēng)機(jī)配有進(jìn)口軸承,風(fēng)機(jī)和電機(jī)安裝在共 用的底座上并配有優(yōu)質(zhì)的彈簧減震器;出風(fēng)口和箱體之間用帆布連接。從各個(gè)方面消除震 動(dòng)和噪音。使風(fēng)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)更為寧?kù)o。,阻性消聲段：配阻性消聲器并可根據(jù)消聲量的需要來(lái)選擇消聲器長(zhǎng)度。,過濾段：根據(jù)除塵的要求, 空氣處理機(jī)可配置板式過濾器和袋式過濾器,也可根據(jù)用戶的需要選擇其它型式的過濾器。,26,四 凈化房

10、的管理,凈房里的粒子是肉眼看不見的，用手摸不著的，因此也是最危險(xiǎn)的?。?！,維持凈化潔凈度的4原則·     入室原則：防止帶進(jìn)灰塵顆粒：往凈化間供潔凈的空氣，配 置潔凈設(shè)備、材料、安排適當(dāng)人員不帶入灰塵。 ·     作業(yè)原則：防止產(chǎn)生灰塵顆粒：穿無(wú)塵服、在

11、設(shè)備扣蓋，最 大限度抑制灰塵的發(fā)生并去除。·     空調(diào)原則：極力排除微粒子 ·     清掃原則：杜絕微粒子的沉積，防止留存灰塵顆粒并及時(shí)清 掃：對(duì)于已發(fā)生的灰塵顆粒，用氣流抑制或者以

12、 適當(dāng)排氣來(lái)排除產(chǎn)生的灰塵。,27,入室原則,1） 進(jìn)入凈化房工作的人員應(yīng)符合下述條件： ①無(wú)傳染性疾病。 ②對(duì)化學(xué)藥品，凈化房使用物品無(wú)過敏者。 ③身體分泌物不多者，如手指油、出汗等。 ④皮膚屑、頭皮屑、體毛脫落不多者。 ⑤沒有神經(jīng)過敏癥，對(duì)閉所恐懼者。 ⑥沒有抓、擦頭皮、皮膚等不良習(xí)慣者。 ⑦進(jìn)行凈化專業(yè)知識(shí)的教育，培養(yǎng)遵守凈化規(guī)定

13、的習(xí)慣，保持個(gè)人潔凈衛(wèi)生，掌握潔凈服更換程序。,28,進(jìn)出時(shí)的注意事項(xiàng) a）  限制凈化室的出入次數(shù)，有必要設(shè)定最小人員入室次數(shù)； 在高潔凈區(qū)內(nèi)人數(shù)不能超過規(guī)定數(shù)，因?yàn)槿耸菨崈魠^(qū)的主 要發(fā)生源 b）  以下人員的入室有必要限制： l   未經(jīng)過凈化間管理人員許可的外部人員 l  

14、60; 沒有著裝無(wú)塵服者 l    因激烈運(yùn)動(dòng)而留汗者 l    穿著毛料之類衣服者 l    吸煙者未經(jīng)漱口立即入室者,29,進(jìn)出潔凈室的流程,30,,進(jìn)入凈化間 為了維持潔凈度，進(jìn)入凈化間者應(yīng)最大限度抑制外部污染進(jìn)入凈化間。 a）由外部進(jìn)入凈化間建筑物時(shí)，換室內(nèi)專用鞋，鞋箱裝鞋

15、分 室內(nèi)和室外； b）凈化間入口處換鞋 在凈化間入口處室內(nèi)專用鞋放在鞋箱，鞋箱每周2次清掃； c）更衣室 脫工作服或外套掛在專用架上； d）穿無(wú)塵服 在更衣室穿無(wú)塵服，按穿衣順序穿，不能接觸地面和其他器具； 穿無(wú)塵服后照鏡子確認(rèn)狀態(tài)，特別是頭發(fā)不能漏出帽子外面； 進(jìn)入凈化區(qū)的人員必須穿戴專用的凈化服

16、。,31,e ）洗手或洗手套手是最大的污染源，必須洗凈l  用自動(dòng)供水器洗凈l  用干凈水洗手l  使用裝有HEPA過濾器手干器f）穿無(wú)塵服注意事項(xiàng)l  戴口罩，口和鼻子完全蓋住l  系好無(wú)塵鞋帶 穿完無(wú)塵服在鏡子前確認(rèn)穿衣狀態(tài)（手腕部位系緊、是否露出頭發(fā)、戴口罩狀態(tài)）,32,,無(wú)塵服 a） 

17、; 衣服本身產(chǎn)生的塵粒子很少 b）  人體發(fā)生的塵粒子不能從衣服內(nèi)向外擴(kuò)散 c）  衣服上不易沾污染物 d）  低溫低濕度的情況下也有良好的除靜電性能 e）  有良好的耐藥性能 f）   洗滌后變形量小 g）  穿著感覺舒適,33,h）  無(wú)塵服的洗滌周期為1周1次 l    選定無(wú)

18、塵服洗滌管理者 l 洗滌時(shí)全部都洗，全體一次全部更換著裝（必要時(shí)按工序劃分） l  設(shè)立洗滌日志 l  無(wú)塵服的洗滌壽命一般為24次 l  洗滌后在更換著裝前，負(fù)責(zé)洗滌的人員對(duì)無(wú)塵服確認(rèn)縫紉狀態(tài)，對(duì)異常進(jìn)行修補(bǔ) l 必須按規(guī)定穿戴潔凈服，穿潔凈服不能出凈化區(qū)。,34,,風(fēng)淋室使用方法 a） 風(fēng)淋之前，在門外踩粘塵不干膠墊上，除去無(wú)塵鞋上的灰

19、塵后進(jìn)風(fēng)淋室； b）  關(guān)好風(fēng)淋室門，按開關(guān)后在風(fēng)中舉起雙手身體左右旋轉(zhuǎn)除掉沾在無(wú)塵服上的灰塵； c）  風(fēng)淋時(shí)間為30±5秒鐘，然后停留3~5秒鐘后，開門出去在關(guān)好門； d）  由人產(chǎn)生的污染最大，所以風(fēng)淋必須按規(guī)定的方法執(zhí)行。,35,退室方法 a）  在更衣室內(nèi)，脫無(wú)塵服掛在專用掛衣架上，無(wú)塵鞋脫下來(lái)把拉鏈合上，從上部開始卷到腳脖子處疊進(jìn)鞋中后，

20、放在鞋架上保管； b）  在使用的手套脫后為了下次再用，可以放在無(wú)塵服后衣袋里或與無(wú)塵服一起掛在衣架上。 c）  在一次更衣室著裝后，在更鞋室穿好鞋離開。,36,e）皮制品等,凈化間嚴(yán)禁帶入的物品,a）未經(jīng)過規(guī)定的清掃過程的材料、工裝、備品及測(cè)量 儀器等,b）一般的紙張和非凈化間用紙張,c）鉛筆、橡皮、墨水和鋼筆等,d）個(gè)人用品（煙、打火機(jī)、飲品、食品、口香糖、皮手套、手絹、手紙、化妝

21、品、筆記本、裝飾品等）,37,在凈化間用品的使用 a）  在凈化室必須使用無(wú)塵紙 b）  告示板類減少到最低程度 c）  記錄用塑料圓珠筆 d）  備品類盡可能使用不銹鋼制品，其他材質(zhì)使用時(shí)使用要表面處理，構(gòu)造上盡可能簡(jiǎn)單，與其他物品接觸磨損要小，棱角最好變成圓角 e）  桌子類不要抽屜和放腳的橫條,38,用品的出入方法 a）要搬入凈化間

22、的各種用品必須洗凈后才可以搬入 b）洗凈的方法：水洗、IPA洗、酒精洗、空氣吹掃等 方法 c）搬入品已經(jīng)洗凈后要保管，放入密閉的容器進(jìn)行 保管 d）物品有包裝的要除掉包裝物 e）搬入大物品時(shí)可能影響氣流狀態(tài)和潔凈度，盡可 能在作業(yè)中不搬入 f） 搬入的物品要經(jīng)過風(fēng)淋吹掃才能搬入 夾具等用酒精清洗后搬入 g)

23、 不同級(jí)別的凈化空間盡量避免直接流通， 通過風(fēng)淋室、傳遞窗等進(jìn)行緩沖。,39,作業(yè)原則：,在凈化間遵守的事項(xiàng) a）  只走規(guī)定的通道，限制人員出入 b）  嚴(yán)禁跨過設(shè)備上面 c）  要高潔凈度的設(shè)備設(shè)置BOOCH來(lái)抑制氣流 d）  將廢物收集箱盡可能放在離設(shè)備遠(yuǎn)處而且扣好蓋子 e）  防止傳遞窗兩面同時(shí)開 f）

24、60;  盡可能減少打開設(shè)備的門和蓋次數(shù) g）  不許坐在凈化房地板上 h）  潔凈室內(nèi)不能跑動(dòng)，鞋不能拖地走路，避免帶起塵埃。 I) 操作動(dòng)作要規(guī)范，不做無(wú)關(guān)動(dòng)作，不講與作業(yè)無(wú)關(guān)話。 J) 在凈化房?jī)?nèi)不能打鬧、喧嘩。,40,空調(diào)原則,嚴(yán)禁在送風(fēng)口和回風(fēng)口處放置物品，擾亂氣流的流向；定期更換高效過濾器，保證其過濾效果；定期對(duì)凈化室進(jìn)行檢漏，防止外部顆粒進(jìn)入；

25、保證符合規(guī)定的換氣次數(shù)；定期測(cè)量潔凈度，每周一次，檢查高效過濾器有無(wú)泄露,室內(nèi)所有物品數(shù)量都應(yīng)限制在最少的限度，并對(duì)物品的放置做出規(guī)定，盡量減少空氣亂流，,41,清掃原則,清掃凈化室 在凈化室一部分顆粒隨氣流排出到室外，剩下的部分落到墻 壁、設(shè)備儀器表面，這些粒子隨室內(nèi)條件的改變、氣流的沖 突，再一次飛散，所以產(chǎn)生的粒子要定期清掃清除。 房間清掃

26、 清掃用具： a）  吸塵器或真空吸塵器（工作間專用）。 b）  無(wú)塵紙（布）、易拖拉拖布。 c）  粘塵滾 d）  塑料桶（優(yōu)質(zhì)） e）  專用鋁合金梯子,42,,清洗劑： a）  水（非潔凈區(qū)使用） b）  純水（潔凈區(qū)使用） c）  含10%洗滌劑的水溶液

27、 d）  乙醇或丙酮 清掃對(duì)象： a）  儀器 環(huán)境（墻壁、地面、天棚、門窗、桌椅等）,清掃方法： a）  儀器清掃詳見使用說明書。 b）  環(huán)境清掃方法：采用吸塵與擦拭的方法，自上而下，自左而右或自右向左，單方向擦拭，不可來(lái)回擦拭。,43,,凈化房清掃方法示例,44,清潔管理技術(shù),45,46,5.1、定義：l 

28、0;什么是靜電？ 絕緣體與絕緣體相互進(jìn)行摩擦，分開后將在其表面附著大量正或負(fù)離子，這些在絕緣體中不能流動(dòng)的電荷就叫做靜電。例如：膠尺在與干布摩擦之后能夠吸引紙屑；冬天脫毛衣聽到之聲音及看到之火花均為靜電現(xiàn)象。l   什么是靜電泄放？ 我們通常所說的ESD（Electrostatic Discharge）即靜電泄放是指靜電積累到一定電勢(shì)后對(duì)電子器件造成的一種快速放電現(xiàn)象。l&#

29、160; 什么是靜電敏感器件？ ESDS(Electrostatic Discharge Sensitive components)即靜電敏感器件是指受到一定能量的靜電泄放后將會(huì)引起暫時(shí)性或永久性損傷的電子器件。,五 靜電防護(hù),47,5.2 靜電危害 當(dāng)靜電量大于100V便有機(jī)會(huì)使LCM 內(nèi)之電子零件燒壞。不同類型的半導(dǎo)體器件耐靜電放電擊穿的靈敏度不一樣，列表如下：

30、,,48,3.1 生產(chǎn)車間建筑裝修材料采用高阻材料如建筑裝修材料導(dǎo)電性能差，某種原因產(chǎn)生靜電后不容易通過它們向大地泄漏，造成靜電的積聚。,3.2 人體靜電穿高電阻率的拖鞋（如聚乙烯、合成革、橡膠等制成）、高纖維襪子，在地面（如聚氨酯彈性地面）上走路時(shí)，鞋底和地面不斷地緊密接觸和分離，人體各部分也有活動(dòng)和摩擦，不論是快走、慢走、小跑，都會(huì)產(chǎn)生靜電，這就是所謂步行帶電。由于鞋子和地面又都是絕緣的，產(chǎn)生的靜電不容易泄漏，就會(huì)逐漸積累。一般

31、說來(lái)，穿塑料制品的鞋在絕緣地面上走路可使人帶上2~3KV的靜電電壓。不僅如此，人體先在用絕緣材料做成的座位（例如人造革椅子）上活動(dòng)后起立，人體穿的工作服與椅子面接觸后分離，也會(huì)產(chǎn)生靜電。例如，穿尼龍羊毛混紡工作服的人從人造革椅子上起立時(shí)，可產(chǎn)生近萬(wàn)伏的高壓靜電。此外，人在脫衣時(shí)，或手拿干布去擦絕緣工作臺(tái)面時(shí)，都會(huì)起電。人體靠近其它帶電體時(shí)，也會(huì)感應(yīng)起電。人體的靜電電壓如果消不掉，而去接觸IC 片，就可能在不知不覺之中造成IC 的擊穿。,

32、5.3、 靜電產(chǎn)生,49,3.3 空氣調(diào)節(jié)和空氣凈化引起的靜電 由于LCM 生產(chǎn)要求在一定溫、濕度條件下進(jìn)行，所以要進(jìn)行空氣調(diào)節(jié)。降濕的空氣要經(jīng)過初效過濾器、中效過濾器、高效過濾器和風(fēng)管，送入車間。一般總風(fēng)管風(fēng)速為8~10m/s。風(fēng)管內(nèi)壁涂油漆。當(dāng)干燥的空氣和風(fēng)管、干燥的空氣和過濾器作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，都會(huì)產(chǎn)生靜電。3.4 搬運(yùn)工具和包裝材料 運(yùn)送半成品時(shí)使用的托盤如是丙烯或聚氯乙烯制成的，或發(fā)泡膠、或白色

33、海綿，也會(huì)產(chǎn)生靜電。LCM 成品在包裝運(yùn)輸過程中，器件與包裝塑料紙之間的摩擦起電，也是不容忽視的靜電起電因素之一。不少IC 在運(yùn)輸過程中莫明其妙地?fù)舸?，可能就是這種靜電在作怪,50,5.4、 靜電防護(hù)4.1 工程設(shè)計(jì)中實(shí)施防靜電措施如可能的話，室內(nèi)裝修材料采用靜電良導(dǎo)體材料，特別是地板。將生產(chǎn)設(shè)備、桌子臺(tái)面全部接地4.2 采用各種措施，消除人體靜電如穿上防靜電工衣(工褲)，并戴上防靜電工帽、手鏈、手帶等。,,51,4.3 進(jìn)行溫

34、濕度管理 靜電與濕度有非常靈敏的關(guān)系，見下表。提高濕度能大大降低靜電的積累，但LCD/LCM生產(chǎn)不可以在高濕度條件下進(jìn)行。因此兼顧到兩方面要求，將濕度定為60%左右是比較合理的,,,,52,4.4 在LCM及帶靜電敏感器件生產(chǎn)的各個(gè)工序使用防靜電用品在生產(chǎn)過程的各個(gè)工序，LCM 產(chǎn)品（半成品及成品）均應(yīng)用黑紙板上面加一層紅色珍珠棉盛放。所有盛放物料的小盒均應(yīng)采用黑色防靜電盒，它不但不會(huì)產(chǎn)生靜電，還會(huì)有效地阻止靜電進(jìn)入。

35、搬運(yùn)或暫存用黑膠箱，如蓋上箱蓋，將有很好的屏蔽作用，它可以很好地阻止一切外來(lái)靜電流入到LCM 產(chǎn)品中。,53,4.5 采用安全運(yùn)輸措施 LCM成品要用防靜電紅色氣泡袋包裝，并將封口封好；或采用防靜電吸塑盤。如為PCBA則必須用錫箔紙一個(gè)個(gè)包扎好，然后再整齊放入黑膠箱內(nèi)運(yùn)輸。,54,4.7 防靜電運(yùn)輸帶防靜電運(yùn)輸帶可安裝放電用掃帚，使運(yùn)輸帶所帶有之靜電除去。4.8 所有使用工具及生產(chǎn)測(cè)試儀器設(shè)備均采用接地裝置電烙鐵、