基于機(jī)器視覺的表面貼裝芯片引腳檢測(cè)的研究.pdf

1、近年來，隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展，表面貼裝裝備的需求量越來越大。雖然國外有了相關(guān)的成熟產(chǎn)品，但是很少有相關(guān)的公開技術(shù)；這方面國內(nèi)的研究起步較晚，對(duì)表面貼裝裝備的需求也主要依賴進(jìn)口。隨著對(duì)裝備性能指標(biāo)要求的不斷提高，機(jī)器視覺檢測(cè)技術(shù)在其中發(fā)揮著越來越重要的作用。本文針對(duì)表面貼裝中關(guān)鍵的視覺檢測(cè)技術(shù)展開研究工作，介紹了視覺檢測(cè)系統(tǒng)的組成和工作原理，結(jié)合表面貼裝芯片引腳檢測(cè)的技術(shù)要求，研制了表面貼裝芯片引腳視覺檢測(cè)實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)表面貼裝芯

2、片引腳的數(shù)目、尺寸、間距和高度差的智能化檢測(cè)。 在計(jì)算機(jī)視覺檢測(cè)系統(tǒng)中，除相機(jī)外，光源和鏡頭是影響圖像質(zhì)量最為關(guān)鍵的硬件設(shè)備。在本系統(tǒng)中，選用紅色LED面光源和畸變小的工業(yè)自動(dòng)化鏡頭組成圖像采集系統(tǒng)進(jìn)行圖像的采集，能夠獲取清晰準(zhǔn)確的圖像，為后續(xù)圖像處理和計(jì)算提供良好的基礎(chǔ)。 針對(duì)本測(cè)量實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)的特點(diǎn)，論文提出了一種簡(jiǎn)單的標(biāo)定方法。采用自己設(shè)計(jì)的標(biāo)定塊，根據(jù)小孔成像模型，只標(biāo)定圖像物面分辨率，通過和商用視覺軟件HexSig

3、ht中標(biāo)定方法的比較得出，本文標(biāo)定方法的結(jié)果是可靠的。 論文采用多種邊緣檢測(cè)算子對(duì)表面貼裝芯片引腳圖像進(jìn)行邊緣提取，通過比較和分析各算子的處理結(jié)果，證明Canny邊緣檢測(cè)算子是比較適合于引腳圖像處理的邊緣檢測(cè)算子。利用Canny算子檢測(cè)提取圖像的邊緣，然后利用輪廓提取技術(shù)得到引腳圖像的輪廓，并采用多直線段對(duì)輪廓進(jìn)行表示，該方法通過設(shè)置合適的規(guī)范化最大誤差，能很好的重建圖像的輪廓。 論文闡述了傳統(tǒng)的基于灰度相關(guān)的模板匹配的