0.13微米制程可靠性相關(guān)的問題研究

1、Y 』9 5 3 7 1 0後旦大學(xué)碩士學(xué)位論文( 專業(yè)學(xué)位)學(xué)校代碼：學(xué) 號：0 ．1 3 微米制程可靠性相關(guān)的問題研究院專姓系：業(yè)：名：指導(dǎo)教師：完成日期：信息科學(xué)與工程學(xué)院電子與通信工程阮瑋瑋湯庭鰲教授筒維廷搏士2 0 0 5 年1 1 月1 1 日1 0 2 4 60 4 3 0 2 1 1 6 0A b s t r a c tS e m i c o n d u c t o rt e c h n o l o g y i s s

2、p e d u p b y t h e t e c h n o l o g y d e v e l o p m e n ti n c r e a s i n g r a p i d l y ．I n o r d e r t o m e e t t h e r e q u i r e m e n t s o ft h es m a l l e r &a d v a n c e d c h i p s ，w eh a v e t o

3、 s c a l ed o w nt h e d e v i c e s i z e ；u s et h e u l t r a - t h i no x i d ea n da l s o u s eC ua s t h en e wB E O L i n t e r c o n n e c tm a t e r i a l ．T h e n ，w eh a v et or e s o l v et h em a n y n e w

4、r e l i a b i l i t yp r o b l e m si n t r o d u c e d ．F i r s to f a l l ，t h ed e v i c es c a l i n gd o w n i sl i m i t e db y t h er e l i a b i l i t yo f u l t r a - t h i ng a t eo x i d e ．A n d ，s i n c e t

5、h e r e a r em a n y d i f f e r e n c e s b e t w e e n C u a n d t h et r a d i t i o n a l A Ip r o c e s s e s ，C ur e l i a b i l i t ya l s ob e c o m e s m o r ea n d m o r ei m p o r t a n t ．I nt h i st h e s i

6、s ，w ef o c u so nt h es t u d yo f r e l i a b i l i t yp r o b l e m s f r o m0 ．1 3 u m i i r o c e s sw i t ht h i n ／u l t r a + t h i no x i d ea n d c o p p e ri n t e r c o n n e c t ；i ti n c l u d e st h i n ／u

7、 l t r a ．t h i no x i d eH C I ，G O I ，V ts t a b i l i t ya n d C u e l e c t r o m i g r a t i o n | s t r e s s m i g r a t i o n i s s u e sO u r m o t i v a t i o nf o r t h i sw o r k i sp r e s e n t e di nC h a

8、p t e r O n e ．I nC h a p t e r T w o ，w e i n t r o d u c e t h e c o n c e p t o fH C I ，G O I ，V t m e a s u r e m e n t ，E Ma n d S M ．C h a p t e rT h r e ei s t h e m a i np a no ft h i st h e s i s d e s c r i b i

9、 n g o t l r e x p e r i m e n t a lr e s u l t s ，t h e o r i e s ，a n a l y s i s ，a n dd i s c u s s i o n s ．F i n a l l y ，t h e s u m m a r yo f a l l t h ew o r k s i nt h i st h e s i sa n d s o m es u g g e s t

10、i o n sa r eg i v e ni nC h a p t e r F o u r ．K e yw o r d s ：M O S F E T ，H C I ( H o t —C a r t i e r - I n j e c t i o n ) ，G O I ( G a t e O x i d eI n t e g r a t e ) ，V t ( t h r e s h o l d v o l t a g e ) ，E M (

11、 E l e c t r o m i g r a t i o n ) ，S M ( S t r e s sm i g r a t i o n ) ，C u ( c o p p e r ) ，A 1 ( a l u m i n u m ) ，d e g r a c 【a t i o n ，f a i l u r e ，B E O L( B a c k - E n d o f L i n e ) ，i n t e r c o n n e c