0.18微米高壓工藝影響襯底缺陷現(xiàn)象的研究

1、天津大學碩士學位論文0.18微米高壓工藝影響襯底缺陷現(xiàn)象的研究姓名：賈宬申請學位級別：碩士專業(yè)：電子與通信工程（一）指導(dǎo)教師：姚素英;陸韻峰20090101A B S T R A C TA s t h e s u s t a i n a b l e d e v e l o p m e n t o f s e m i c o n d u c t o rm a n u f a c t u r i n gp r o c e s sw i t

2、hs m a l l e rd i m e n s i o na n dh i g h e ri n t e g r a t i o na tt h ew a f 每r ．t h es e m i c o n d u c t o rt e c h n o l o g y b e c o m e sm o r ec o m p l e x ，S Ot h e r e a r em o r ep r o b l e m st ob es o

3、 l v e di nt h e p r o c e s s ．A n dt h es p e c i a lr e q u i r e m e n t sf o rH v d e v i c e s ，t h es p e e do fi n t e g r a t i o ni n c r e a s i n gi s s l o w e rt h a nm e m o r yp r o d u c t s ．F o rt h e

4、r ea r e al o t k i n d so fm a t e r i a l su s e d i n t h es e m i c o n d u c t o rm a n u f a c t u r i n gp r o c e s s ，t h es t r e s s o fw a f e rw i l l v a r i e dw i d e l yb e t w e e nl a y e r sa sar e s

5、u l to f d i f f e r e n tm a t e r i a l sa tl a y e r s ．S Ot h e c r y s t a ld e f e c tm a yo c c u r ．S u c hd e f e c t so f t e nl e a dt o t h ee l e c t r i c a lp a r a m e t e r sa b n o r m a le v e na f f e

6、 c t i n gp r o d u c ty i e l d s ．S i n c et h eH V p r o d u c t sa sa r e s u l to f t h e t y p e so fd e v i c e s m o r e t h a n t h e g e n e r a l l o g i c p r o d u c t s ，p r o c e s s e s a r e m o r ec o m

7、 p l e x p r o b l e m sa n d m o r e d i f f i c u l tt or e s o l v e ．A t p r e s e n t ，d o m e s t i ca n df o r e i g n t e c h n o l o g yi n t h e m a n u f a c t u r i n gp r o c e s s ，t h em a i n s o l u t i

8、o ni sa d d i n gt h eb u f f e rl a y e r o rt h e r m a lp r o c e s st or e l e a s e s t r e s sb e t w e e nt w o l a y e r sw i t hl a r g e s t r e s s d i f f e r e n c e ．H o w e v e r ,t h e s em e t h o d sc o

9、 m m o n l y u s e d i nt h eH V i nt h ep r o c e s s m a y n o t b ea b l et os o l v ea 1 1 t h e p r o b l e m s ．S O w e n e e d t ol o o kf o ra n e w p r o c e s s t or e s o l v ep r o d u c t d e f e c t s o c c

10、 u r r e d i n ．T h i s a r t i c l e o n t h e s e t t l e m e n t o fi s s u e sa r i s i n gf r o m t h ed e f e c t t h r o u g ht h ea d j u s t m e n to r d e ro f p r o c e s s ，o p t i m i z et h ep r o c e s sa

11、p p r o a c ht oa v o i dd e f e c tp r o b l e m s ．S p e c i f i co b j e c t i v e si st h es u b s t r a t e d e f e c t sa tt h e a c t i v ea r e ai nt h eH V 0 ．18 u m p r o c e s s ．K E Y W O R D S ：H i ．g h V o