超聲噴霧熱分解大面積SnO-,2-：F透明導電膜的研究.pdf

1、SnO2薄膜是一種集諸多優(yōu)良性能于一體的功能材料，它具有廣泛的用途；超聲噴霧熱分解工藝是一種在傳統(tǒng)熱分解工藝基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新型鍍膜方法，具有低成本、高質(zhì)量的優(yōu)點。本文對基于超聲噴霧熱分解工藝的大面積SnO2薄膜的制備技術(shù)進行了研究。 本論文主要完成了以下三方面的工作： 第一、設(shè)計并實現(xiàn)了基于超聲噴霧熱分解工藝的大面積鍍膜設(shè)備。目前在國內(nèi)對超聲噴霧熱分解工藝的研究大多局限在小面積的實驗上，而本論文最終實現(xiàn)了20cm×20

2、cm面積的均勻鍍膜，因此具有一定的開創(chuàng)性。 第二、對超聲噴霧熱分解工藝制備SnO2：F薄膜做了工藝探索。分別研究了溫度、摻雜比、酒精含量、載氣流量和噴射距離等工藝參數(shù)對薄膜性能的影響；將實驗制得的薄膜用于制備非晶硅薄膜電池，其效率達到了5.96％，而相同條件下采用日本進口的薄膜制備的電池效率為6.88％。 第三、和一般文獻的研究方法不同，本論文對薄膜工藝過程進行研究時利用了計算機仿真技術(shù)。通過使用FLUENT軟件對噴霧的