新型光刻膠及玻璃刻蝕應(yīng)用研究.pdf

1、本論文是關(guān)于環(huán)氧樹(shù)脂改性超支化感光聚合物的合成、以該感光樹(shù)脂制備厚型光刻膠極其在玻璃刻蝕加工方面的應(yīng)用研究。以偏苯三酸酐、環(huán)氧氯丙烷和甲基丙烯酸縮水甘油酯一步反應(yīng)制備了羧基功能化的感光超支化聚酯，通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂兩端的環(huán)氧基與超支化聚酯的羧基反應(yīng)制備了改性感光聚合物，改變反應(yīng)物配比，合成了不同感光特性的樹(shù)脂。GPC、DSC、TGA及力學(xué)性能結(jié)果表明：當(dāng)改性環(huán)氧樹(shù)脂用量為70％(官能團(tuán)比)時(shí)，聚合物的性能最佳。通過(guò)殘膜率一曝光時(shí)間曲線表征了以

2、超支化感光樹(shù)脂配制的光刻膠的感光特性。初始曝光時(shí)間T<,0>，殘膜反差值γ<,gal>可以通過(guò)多種因素來(lái)調(diào)整，制得了初始曝光時(shí)間2：7s，殘膜反差值達(dá)到2.8的光刻膠。在混合光源以及接觸曝光的條件下分辨率達(dá)到2～3 μ m，且圖像十分清晰，斷面整齊。 研究了活性稀釋劑及助劑對(duì)光刻膠性能的影響，確定了以超支化感光聚合物為基體樹(shù)脂的厚型光刻膠的光刻工藝，研制了適宜的顯影液。光刻工藝基本條件為：前烘溫度為65℃，前烘時(shí)間為20～25分

3、鐘；曝光時(shí)間為5分鐘；顯影液為丙酮/乙醇=3(質(zhì)量比)，顯影時(shí)間為5分鐘；后烘溫度為70℃。研制的厚型光刻膠有效厚度約為100 λ m，極限透光深度為272 μ m。在接觸曝光條件下，膠厚為80 μ m左右時(shí)，深寬比能達(dá)到1：1。 以環(huán)氧改性的感光樹(shù)脂配制的光刻膠用于玻璃化學(xué)刻蝕的保護(hù)層，其耐刻蝕性能較傳統(tǒng)光刻膠有明顯提高。以HF酸為主體的玻璃刻蝕劑，研究了HCl、HNO<,3>以及氟化銨對(duì)玻璃化學(xué)刻蝕的影響，在HF：HNO<,