ZnO納米線pn結(jié)紫外光電探測(cè)器的制備與特性研究.pdf_第1頁
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1、紫外光電探測(cè)器(UVD)由于在軍事、科學(xué)檢測(cè)、通訊等領(lǐng)域具有廣泛的實(shí)際應(yīng)用潛力而吸引了大量的研究關(guān)注。ZnO作為一種重要的Ⅱ-Ⅵ族寬禁帶(WBG)半導(dǎo)體材料,具有生長(zhǎng)溫度低,原料豐富,成本低廉,環(huán)境友好等優(yōu)點(diǎn),因而成為制備UVD的極佳材料?,F(xiàn)如今,得益于微納組裝技術(shù)的進(jìn)步,使用一維納米材料由下而上(bottom-up)制備微納電子器件也越來越受到重視。
  本研究工作使用配備有操作探針和氣體注入系統(tǒng)(GIS)的FIB/SEM聚焦離

2、子/電子雙束顯微電鏡實(shí)現(xiàn)了單根納米線的精確切割、提取、轉(zhuǎn)移、焊接。這種方法準(zhǔn)確、快速、有效,可用于微納電子器件的組裝。
  首先,我們使用化學(xué)氣相沉積(CVD)的方法制備出了高質(zhì)量的單晶ZnO納米線和p型Sb摻雜 ZnO納米線。然后,使用這種微納組裝的方法制備了 ZnO與Sb摻雜ZnO納米線pn結(jié)UVD,并對(duì)其進(jìn)行了光電性能測(cè)試。這種UVD展現(xiàn)出如下突出優(yōu)點(diǎn):
  1.較高的靈敏度和穩(wěn)定性。在?0.1 V反向偏壓下,這種UV

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