MgZnO MSM結(jié)構(gòu)紫外光探測器特性研究.pdf

1、近年來,MgZnO基日盲紫外光探測器由于在紫外通訊、導(dǎo)彈預(yù)警以及火焰探測等方面具有巨大的應(yīng)用潛力而受到人們的廣泛關(guān)注,是當(dāng)前光通信和光電子領(lǐng)域研究的熱點課題之一。論文在經(jīng)典半導(dǎo)體理論的基礎(chǔ)上,結(jié)合器件實驗,建立了適于模擬MgZnO金屬-半導(dǎo)體-金屬(Metal-semiconductor-Metal,MSM)紫外光探測器的數(shù)值模型,進而研究了不同電極結(jié)構(gòu)對于器件特性的影響。具體內(nèi)容如下:
　　首先,考慮到 MgZnO的基本材料特性

2、,通過求解泊松方程、電流連續(xù)性方程以及電流密度方程建立了適于常規(guī)矩形電極結(jié)構(gòu)MgZnO MSM光電探測器的二維數(shù)值模型,獲得了器件的電場分布、暗電流以及光電流特性。通過與器件實驗結(jié)果相對比驗證了模型的正確性。
　　其次,基于幾何光學(xué)理論,建立了適于三棱柱形和半圓柱形電極結(jié)構(gòu)的光產(chǎn)生與吸收模型,對MgZnO MSM探測器的穩(wěn)態(tài)和瞬態(tài)特性進行了數(shù)值仿真。研究表明,三棱柱形和半圓柱形電極能使部分被電極反射的入射光重新照射到MgZnO吸收