基于斐索干涉儀的數(shù)字波面干涉技術(shù)研究.pdf

1、隨著現(xiàn)代各種類型光學儀器對小型光學零件大批量需求，越來越多的產(chǎn)品要求對其加工過程進行現(xiàn)場快速實時監(jiān)控。光干涉計量儀器因為其高的測量精度引起大家的廣泛關(guān)注，因此，可以離開實驗室適用于生產(chǎn)現(xiàn)場的小型、現(xiàn)代數(shù)字波面干涉儀必將具有廣闊的應(yīng)用前景。 本文首先對斐索干涉儀用于平面和球面光學零件測量的原理進行闡述，系統(tǒng)分析和研究了現(xiàn)有激光斐索干涉儀的特點，根據(jù)項目對系統(tǒng)所能達到測量精度的相關(guān)要求和干涉儀器的經(jīng)濟指標，確定該干涉儀設(shè)計方案。其次

2、，鑒于該系統(tǒng)采用高速成像技術(shù)較好克服環(huán)境振動對干涉測量的影響因而可用于生產(chǎn)車問現(xiàn)場檢驗，特別利用VC++可視化程序設(shè)計語言編寫程序?qū)崿F(xiàn)對數(shù)字圖像實時自動判讀避免人為判讀的主觀性誤差，使其具有廣闊的市場前景。再者，根據(jù)項目要求對所需器件進行合理選型。利用該系統(tǒng)對平面光學零件進行測試，較詳細闡述干涉測量的調(diào)節(jié)過程，并將拍攝到的干涉條紋轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號進行實時處理，包括對圖像灰度轉(zhuǎn)換、圖像平滑濾波處理、圖像分割以及數(shù)學形態(tài)學腐蝕膨脹等操作，最終