有關固態(tài)薄膜表面應力的幾個問題.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、我們對固態(tài)薄膜表面應力的探討基于以下三個方面的研究:表面應力作用下薄膜本征應力的演化,薄膜形狀的分岔,以及薄膜力學響應的尺度效應等. 薄膜本征應力是薄膜形成過程中由于缺陷等原因而引起的內應力.推導薄膜本征應力的已有模型,基本上都忽略界面作用及襯底變形因素的影響.基于能量方法,我們推導了本征應力與薄膜—襯底系統(tǒng)幾何尺寸的關系,得出的最大平均本征應力比現(xiàn)有模型的計算結果小,并在沉積厚度一定時隨襯底厚度的減小而減小.固體表面應力的測量普遍采取

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