基于石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管結(jié)構(gòu)的太赫茲波調(diào)制器件研究.pdf

1、近年來，THz波作為新興的電磁研究波段，其相關(guān)的功能器件太赫茲波調(diào)制器得到了很大的創(chuàng)新研究?，F(xiàn)在太赫茲波段相關(guān)的理論和器件發(fā)展都不成熟，制備的調(diào)制器也存在很多不足，如過慢的調(diào)制速率，過小的調(diào)制深度，嚴(yán)重制約著太赫茲通信和太赫茲成像的快速發(fā)展應(yīng)用。二維薄膜材料石墨烯對(duì)太赫茲波響應(yīng)顯著，人工電磁超材料結(jié)構(gòu)與石墨烯的復(fù)合結(jié)構(gòu)對(duì)于太赫茲波通信和成像系統(tǒng)具有重大的應(yīng)用潛力。
　　本文首先介紹了石墨烯材料的結(jié)構(gòu)、性質(zhì)和一般的轉(zhuǎn)移工藝，根據(jù)實(shí)驗(yàn)

2、結(jié)果對(duì)石墨烯的轉(zhuǎn)移工藝做了兩點(diǎn)優(yōu)化研究，接著對(duì)如何制備電學(xué)性能優(yōu)異的背柵石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管做了詳細(xì)的論述，具體包括晶體管的結(jié)構(gòu)、原理、制備、電學(xué)性能測(cè)試和石墨烯溝道的摻雜，通過摸索晶體管制備工藝，不斷調(diào)整優(yōu)化和嚴(yán)格控制工藝流程和工藝參數(shù)，制備出性能優(yōu)異的石墨烯晶體管，其他部分還分析了基片的清洗、實(shí)驗(yàn)的基本工藝摸索、Al2O3薄膜的DFM和XRD表征、晶體管基本參數(shù)的意義和測(cè)試方法。
　　最后介紹了超材料的仿真和太赫茲測(cè)試系統(tǒng)，以石