精密主動隔振器的位置測量與控制.pdf

1、精密制造業(yè)的迅猛發(fā)展對制造裝備提出了越來越高的要求。精密的制造裝備對于工作環(huán)境的要求顯得更為重要,精密主動隔振器能減小外界振動對于高精密裝備的影響,有效的提高裝備的工作環(huán)境。位置測量是主動隔振器的重要組成部分,是隔振器實現(xiàn)閉環(huán)主動控制的關鍵環(huán)節(jié)之一,在主動隔振控制系統(tǒng)中扮演著重要角色。
　　本文從主動隔振器的控制要求以及工作原理方面分析了位置測量與控制系統(tǒng)的重要性,提出了位置測量與控制系統(tǒng)的設計方案,并且根據(jù)主動隔振器位置測量的要

2、求,對位移傳感器進行了的選型,完成了位移傳感器在主動隔振器上安裝與調(diào)整的機械結(jié)構(gòu)設計,并對傳感器的信號調(diào)理電路進行了設計。依照位置控制系統(tǒng)的設計方案,完成了氣動位置控制環(huán)路的氣動回路以及控制閥的控制電路的設計工作。結(jié)合本文章提出的系統(tǒng)設計方案,同時參考位置測量電路以及氣動位置控制環(huán)路的硬件,完成了主動隔振器的位置測量與控制系統(tǒng)的軟件的設計。
　　在完成位置測量與控制系統(tǒng)的硬件與軟件設計工作后,對系統(tǒng)中的位移傳感器進行了標定實驗,確