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文檔簡介
1、本文在介紹工業(yè)化生產(chǎn)多晶硅太陽電池工藝流程的基礎上，著重介紹多晶硅在進行濕法刻蝕周邊過程中可能出現(xiàn)的問題.刻蝕工藝是制造晶體硅太陽電池片整個流程中的一個非常重要的工序，濕法刻蝕周邊主要影響的是太陽電池性能參數(shù)中的并聯(lián)電阻Rsh和反向漏電流Irev2，刻蝕過程中出現(xiàn)刻不凈或過刻會導致并聯(lián)電阻Rsh過小，反向漏電流Irev2非常大，進而影響整個電池的光電轉(zhuǎn)換效率η。
多晶硅濕法刻蝕周邊主要有方阻上升過大、過刻和刻不凈等問題?？涛g槽
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