多晶硅電磁冷坩堝連續(xù)熔鑄技術.pdf

1、由于電磁冷坩堝連續(xù)熔鑄技術的高效率性、對材料的無污染性及低成本性，其對太陽能級多晶硅錠的制備具有重要意義。本論文在實驗室原有設備、經(jīng)驗和技術的基礎上，對于多晶硅電磁冷坩堝連續(xù)熔鑄技術進行了探索性的研究，解決了工藝過程中出現(xiàn)的一些問題，最終拉制出了一定長度、表面質量及內部組織良好的多晶硅錠。
　　設計加工了適用于顆粒料連續(xù)送料的活塞式加料器。并通過在活塞送料口端加上攪拌小電機，有效解決了活塞送料過程中的顆粒料于送料口端堆積、時而大股

2、塌料的問題，實現(xiàn)了真空室內送料速度可控的連續(xù)均勻送料。
　　對連續(xù)抽拉工藝過程進行了研究分析，通過不同啟熔底托材質、預熱端面形狀、所處位置及初始底料預置量的對比實驗研究及理論分析，確定出了底托材質為石墨、端面為倒圓錐形、上端面處于感應線圈第2匝及預置10g底料的最佳啟熔條件；通過送料及加熱功率的合理控制，減少了熔池熄滅、熔體飛濺等熔池不穩(wěn)定現(xiàn)象的出現(xiàn)；通過擴大螺紋直徑及變截面的方法解決了連續(xù)抽拉過程中底托沿螺紋處被拉斷的問題，從而