多晶硅電磁冷坩堝連續(xù)熔鑄技術(shù).pdf

1、由于電磁冷坩堝連續(xù)熔鑄技術(shù)的高效率性、對(duì)材料的無(wú)污染性及低成本性，其對(duì)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅錠的制備具有重要意義。本論文在實(shí)驗(yàn)室原有設(shè)備、經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)的基礎(chǔ)上，對(duì)于多晶硅電磁冷坩堝連續(xù)熔鑄技術(shù)進(jìn)行了探索性的研究，解決了工藝過(guò)程中出現(xiàn)的一些問(wèn)題，最終拉制出了一定長(zhǎng)度、表面質(zhì)量及內(nèi)部組織良好的多晶硅錠。
　　設(shè)計(jì)加工了適用于顆粒料連續(xù)送料的活塞式加料器。并通過(guò)在活塞送料口端加上攪拌小電機(jī)，有效解決了活塞送料過(guò)程中的顆粒料于送料口端堆積、時(shí)而大股

2、塌料的問(wèn)題，實(shí)現(xiàn)了真空室內(nèi)送料速度可控的連續(xù)均勻送料。
　　對(duì)連續(xù)抽拉工藝過(guò)程進(jìn)行了研究分析，通過(guò)不同啟熔底托材質(zhì)、預(yù)熱端面形狀、所處位置及初始底料預(yù)置量的對(duì)比實(shí)驗(yàn)研究及理論分析，確定出了底托材質(zhì)為石墨、端面為倒圓錐形、上端面處于感應(yīng)線圈第2匝及預(yù)置10g底料的最佳啟熔條件；通過(guò)送料及加熱功率的合理控制，減少了熔池熄滅、熔體飛濺等熔池不穩(wěn)定現(xiàn)象的出現(xiàn)；通過(guò)擴(kuò)大螺紋直徑及變截面的方法解決了連續(xù)抽拉過(guò)程中底托沿螺紋處被拉斷的問(wèn)題，從而