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文檔簡介
1、該文研究了多孔硅在多晶硅的減反射、鈍化、吸雜這三方面的特性,進(jìn)一步制備了多孔硅太陽電池,并對其相關(guān)的特性做了系統(tǒng)的研究.首先,該文采用傳統(tǒng)的化學(xué)法制備多孔硅,利用穩(wěn)態(tài)光電導(dǎo)衰減法(QSSPCD)、紅外吸收光譜(IR)、掃描電鏡、反射譜等手段對多孔硅的性質(zhì)進(jìn)行了深入地研究.在減反射方面,與沉積減反射膜和傳統(tǒng)的表面織構(gòu)化相比,多孔硅制備簡單并且解決了傳統(tǒng)的織構(gòu)化手段無法解決的由多晶硅的多種晶向而造成的各向異性腐蝕的問題.而且,在多晶硅上制備
2、多孔硅能大幅度地降低多晶硅的反射率,能使平均反射率降低到7％以下.在吸雜方面,單獨(dú)的多孔硅對多晶硅吸雜的效果緊次于多孔硅和磷的結(jié)合吸雜,但是從工藝的角度看,多孔硅吸雜工藝簡單、易操作、成本低.其次,該文用自對準(zhǔn)技術(shù)制備了多孔硅太陽電池,通過測量太陽電池的I-Ⅴ曲線和光譜響應(yīng)等發(fā)現(xiàn)多孔硅的確在一定程度上改善了太陽電池的性能,使太陽電池效率由原來的8.01％提高到14.73％,增益達(dá)到32.5％.第三,在制備多孔硅太陽電池的過程當(dāng)中,存在一
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