測量系統(tǒng)分析在集成電路測試中的應用.pdf

1、測量系統(tǒng)分析測量系統(tǒng)分析測量系統(tǒng)分析測量系統(tǒng)分析在集成電路測試中的應用在集成電路測試中的應用在集成電路測試中的應用在集成電路測試中的應用MSAApplicationinICTestProcess學科專業(yè)：集成電路工程研究生：黃曉斌指導教師：張之圣教授企業(yè)導師武立樹高級工程師天津大學電信學院二零一二年五月1摘摘摘摘要要要要測量系統(tǒng)分析（MSA，MeasurementSystemAnalysis）是ISOTS16949汽車行業(yè)質量管理體系的

2、核心要素之一。很多跨國公司在考察供應商時，都很注重審查供應商的質量管理體系，其中衡量供應商的質量保證能力的一個重要參考指標就是MSA的應用情況。同時，測量系統(tǒng)分析也是六西格瑪質量管理方法的一項重要內容，是實施DMAIC持續(xù)質量改進的關鍵工具之一。本論文主要對測量系統(tǒng)分析的理論和方法作了較為系統(tǒng)的介紹，給出了計量型、計數型測量系統(tǒng)分析的主要特性指標及研究方法。結合本單位的實際情況，本文分析和討論了集成電路測試過程中的測量系統(tǒng)的評價內容和方

3、法，對如何在集成電路測試過程中應用測量系統(tǒng)分析提出了詳細的實施方案，內容包括測試過程簡介、測試系統(tǒng)構成介紹、測試的參數分類、影響測試過程的因素分析、模擬參數方法進行MSA的可行性分析、MSA仿真程序的開發(fā)、計量型測量系統(tǒng)的MSA、計數型測量系統(tǒng)的MSA、MSA程序書及指導書的制定等內容。本文用實例詳細說明了應用Minitab統(tǒng)計軟件進行MSA數據分析的方法，極大簡化了MSA數據分析過程中的復雜計算。并開創(chuàng)性地提出應用模擬參數代替實際樣件