計算機控制大氣等離子體光學加工方法研究.pdf

1、伴隨空間光學的快速發(fā)展，非球面光學元件以其優(yōu)越的光學性能、緊湊的結構等特點正越來越多的廣泛應用于現(xiàn)代科技領域，要求必須尋找一種能夠實現(xiàn)快速、批量生產(chǎn)非球面的制造技術。與此同時，現(xiàn)代微電子技術和光學技術的發(fā)展對光學元件質量提出了越來越高的要求；光學元件為了獲取極高的反射度值，要求表面粗糙度低于納米級別。傳統(tǒng)機械加工方式屬于應力加工，會破壞工件表面晶格完整性并引入殘余應力，難以滿足超光滑表面的需求。CNC數(shù)控技術己經(jīng)能夠實現(xiàn)光學非球面元件的

2、精密快速銑磨成型，然而，非球面拋光仍是影響非球面加工效率和精度的主要因素。
　　基于上述原因，提出了一種新型非球面加工方法——基于計算機控制光學成形的大氣等離子體加工技術，取代現(xiàn)有拋光方法進行快速、高效、無表層損傷的非球面加工。結合計算機控制光學表面成形技術和大氣等離子體化學加工方法，進行了相關的試驗研究：運用經(jīng)典 Preston的拋光原理，對等離子體炬的工作方式和參數(shù)進行改進和優(yōu)化，以改善其拋光精度和效率，并獲得了更優(yōu)的特征去除