多晶硅錠中硬質(zhì)夾雜性質(zhì)與形成機(jī)理研究.pdf

1、晶體硅太陽電池是太陽電池中的主導(dǎo)產(chǎn)品，市場(chǎng)占有量達(dá)90％以上。由于多晶硅太陽能電池片是以太陽能級(jí)硅或電子級(jí)硅的頭尾料和碎料為原料。因此，相對(duì)單晶硅而言，多晶硅錠中含有較多的雜質(zhì)。多晶硅錠中硬質(zhì)夾雜的出現(xiàn)使得在硅錠切割過程中硅片出現(xiàn)脊紋而報(bào)廢，甚至由于硬質(zhì)夾雜存在而造成包括斷線停機(jī)、硅塊報(bào)廢等損失。為此，研究多晶硅錠中硬質(zhì)夾雜性質(zhì)及其形成對(duì)生產(chǎn)具有重大指導(dǎo)意義。 本文通過對(duì)多晶硅片脊紋、斷線停機(jī)的形成原因進(jìn)行分析；利用Keyenc

2、eVHX-100型3D高景深顯微鏡、配備了特征X射線能譜儀的HITACHS-3000N型掃描電鏡、X射線衍射儀(Bruker D8 FOCUS型)對(duì)多晶硅錠中出現(xiàn)的硬質(zhì)夾雜進(jìn)行形貌、物相觀察，發(fā)現(xiàn)造成硅片脊紋和斷線停機(jī)主要原因是由于硬質(zhì)夾雜物一塊體狀的β-SiC和棒狀β-Si<,3>N<,4>的存在。β-SiC附著在β-Si<,3>N<.4>上形成團(tuán)簇狀，硅錠頂部顆粒直徑達(dá)100μm以上，團(tuán)簇后增大至幾百微米；硅錠中部夾雜物較少，但也能