兩級(jí)磁懸浮平臺(tái)動(dòng)力學(xué)特性研究.pdf

1、磁懸浮技術(shù)屬于高新技術(shù)，具有無(wú)摩擦、無(wú)磨損、無(wú)需潤(rùn)滑、低功耗、低噪聲、壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，它在傳統(tǒng)機(jī)械產(chǎn)品向機(jī)電一體化產(chǎn)品轉(zhuǎn)變中發(fā)揮著極大作用。在超精密工作平臺(tái)的快速定位及精密運(yùn)動(dòng)的實(shí)現(xiàn)過(guò)程中，磁懸浮技術(shù)的應(yīng)用能夠顯著提高平臺(tái)的工作性能。 磁懸浮承載能力的優(yōu)劣主要取決于工作平臺(tái)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與結(jié)構(gòu)參數(shù)。本文以?xún)杉?jí)磁懸浮平臺(tái)為研究對(duì)象，首先利用ANSYS軟件分析了平臺(tái)的上、下懸浮部分與基座在靜止不動(dòng)和穩(wěn)定懸浮兩個(gè)狀態(tài)下的變形，根據(jù)結(jié)果驗(yàn)證結(jié)

2、構(gòu)布局的合理性；其次對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行模態(tài)分析，由振型圖得出影響平臺(tái)最主要的參數(shù)是電磁鐵的支承剛度；針對(duì)制造誤差引起的上、下懸浮部件的質(zhì)心和其中心及直線電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力中心點(diǎn)并不重合等問(wèn)題，討論了不對(duì)中引起的瞬態(tài)力矩對(duì)結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的影響，分析了阻尼對(duì)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性的作用；最后，為了研究磁懸浮平臺(tái)的機(jī)電耦合特性，在不考慮平臺(tái)在直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)下的運(yùn)動(dòng)，只涉及每一級(jí)平臺(tái)五個(gè)自由度(兩級(jí)共十個(gè))的耦合作用的條件下，建立了兩級(jí)磁懸浮工作平臺(tái)完整的動(dòng)力學(xué)模型，為以后