微波PIN管鍵合工序銅球脫落的失效機(jī)理和改進(jìn)方案的研究.pdf

1、PIN二極管是一種在微波，電力以及廣電領(lǐng)域里廣泛應(yīng)用的半導(dǎo)體二極管器件。PIN二極管是由P型半導(dǎo)體和 N型半導(dǎo)體以及中間夾雜一層本征半導(dǎo)體構(gòu)成，其中P型和N型半導(dǎo)體都為重?fù)诫s。因此它與傳統(tǒng)的PN型二極管會呈現(xiàn)出不一樣的電壓電流特性。由于PIN二極管在不同偏置或不同頻率下所表現(xiàn)出的不同特性，使得它在在微波領(lǐng)域多用于微波開關(guān)及衰減器等，而在電力電子領(lǐng)域中多用于大功率二極管。
　　近年來隨著銅線鍵合技術(shù)的不斷成熟，很多半導(dǎo)體器件都開始用

2、銅線鍵合代替金線以降低封裝成本，PIN二極管也沒有能夠例外。然而，當(dāng)公司在將銅線推廣到二極管產(chǎn)品之后卻發(fā)現(xiàn)PIN二極管的鍵合良率明顯低于其他產(chǎn)品，并且有更多的客戶投訴發(fā)生，給公司帶來很大的損失。作者所在部門經(jīng)過精密細(xì)致的失效分析找到該產(chǎn)品失效的原因并提出改進(jìn)方案。最終與設(shè)計部門一起合作更改PIN二極管焊盤設(shè)計，并成功通過了可靠性測試，解決了這一問題。使得該產(chǎn)品最終良率上升了近2％，并且成功在公司同類產(chǎn)品推廣了這一方案。
　　針對銅