圖像版圖提取新算法研究.pdf

1、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的不斷發(fā)展，超大規(guī)模集成電路隨著納米節(jié)點(diǎn)的發(fā)展應(yīng)運(yùn)而生。在元器件微型化、電路規(guī)模集成化的現(xiàn)在，作為連接版圖設(shè)計(jì)和版圖生產(chǎn)中間環(huán)節(jié)的版圖優(yōu)化起著越來(lái)越重要的作用。在實(shí)際版圖設(shè)計(jì)和版圖優(yōu)化的過程中，大多數(shù)版圖線網(wǎng)是非規(guī)則形狀的，制造工藝中真實(shí)的缺陷輪廓也是非規(guī)則形狀的。隨機(jī)缺陷的版圖優(yōu)化借助圖像版圖來(lái)完成會(huì)更加直觀，因此從CIF版圖中提取圖像版圖就成為了解決版圖優(yōu)化相關(guān)問題的必要選擇。
　　本文在分析實(shí)際大規(guī)模集成電路版

2、圖屬性的基礎(chǔ)上，提出針對(duì)較大CIF版圖和大規(guī)模CIF版圖的兩種圖像版圖提取新算法。
　　對(duì)于較大的CIF版圖，在定義基本圖形的矩形范圍、CIF版圖的矩形范圍、滑動(dòng)窗口的位置和滑動(dòng)窗口的滑動(dòng)規(guī)則等概念的基礎(chǔ)上，本文提出了基于滑動(dòng)窗口的圖像版圖提取新算法。該算法通過控制滑動(dòng)窗口在CIF版圖矩形范圍內(nèi)的滑動(dòng)，進(jìn)行多次連續(xù)輸出，實(shí)現(xiàn)了較大CIF版圖的分區(qū)域完整提取。同時(shí)，基于滑動(dòng)窗口的圖像版圖提取新算法在提取圖像版圖的過程中，還可以統(tǒng)計(jì)線

3、網(wǎng)個(gè)數(shù)、提取時(shí)間、圖像版圖個(gè)數(shù)等相關(guān)的CIF版圖數(shù)據(jù)，該結(jié)果為進(jìn)一步的版圖精確優(yōu)化鑒定了基礎(chǔ)。相對(duì)于現(xiàn)有的圖像版圖提取算法，新算法不僅解決了較大CIF版圖的完整提取問題，還具有提取參數(shù)準(zhǔn)確、提取過程透明化等特點(diǎn)。
　　對(duì)于大規(guī)模的CIF版圖，數(shù)據(jù)量是非常大的，提取時(shí)間隨著數(shù)據(jù)量的增長(zhǎng)也在急速增長(zhǎng)?；谂袛嗄Ｐ偷膱D像版圖提取新算法采用了CIF版圖基本圖形和輸出窗口的位置關(guān)系判斷模型，該模型通過比較基本圖形和輸出窗口的位置關(guān)系來(lái)選擇有

4、效的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行處理，同時(shí)跳過無(wú)效的數(shù)據(jù)信息，以減少無(wú)效數(shù)據(jù)的處理時(shí)間。同時(shí)，該算法采用了分塊讀取和多端口輸出的方式來(lái)處理大規(guī)模CIF版圖的數(shù)據(jù)。在數(shù)據(jù)讀取方面，以分塊讀取的方式代替整體讀入或逐行讀取，減小內(nèi)外存之間數(shù)據(jù)交換的次數(shù)，從而縮短數(shù)據(jù)處理的時(shí)間。在圖像版圖輸出方面，以多端口輸出的方式代替單端口輸出，減少CIF版圖的打開次數(shù)，從而縮短文件處理的時(shí)間。在多個(gè)實(shí)驗(yàn)版圖和OpenSPARC電路版圖上的圖像版圖提取結(jié)果表明，基于判斷模型