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1、目前,對(duì)于小容積氣體壓力的控制多用傳感器的反饋信號(hào)來(lái)控制執(zhí)行機(jī)構(gòu)進(jìn)行動(dòng)作,這種方法一方面壓力控制的精度不高,另一方面容易出現(xiàn)超調(diào)和調(diào)節(jié)超時(shí)的現(xiàn)象。當(dāng)系統(tǒng)在高壓超高壓的環(huán)境下工作時(shí),這種問(wèn)題會(huì)更加嚴(yán)重,針對(duì)以上的問(wèn)題本文對(duì)小容腔的高壓超高壓控壓技術(shù)進(jìn)行了研究。
首先基于范德瓦爾方程對(duì)氣體的流動(dòng)特性進(jìn)行了分析,建立了容腔的充放氣數(shù)學(xué)模型,并對(duì)系統(tǒng)的氣路部分進(jìn)行了設(shè)計(jì)。本文采取二次增壓的方式,壓力輸出范圍為15-180MPa。在第二
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