硅壓阻微壓傳感器的設計.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、傳感器技術是現(xiàn)代科學技術發(fā)展水平的重要標志，它與通信技術、計算機技術構成現(xiàn)代信息產業(yè)的三大支柱。在各種傳感器中，硅壓力傳感器是應用最為廣泛的一種。目前國內市場上硅微壓力傳感器的量程都在1kPa以上，更低量程的產品要依靠國外進口，因此進行更低量程的硅微微壓傳感器的研究，實現(xiàn)相關技術攻關對于促進硅微壓力傳感器技術提高和相關產業(yè)發(fā)展有著實際意義。針對國內外在硅微型壓阻式壓力傳感器上的研究進展和產業(yè)化情況，從復合彈性元件的設計、芯片微加工工藝、

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