不銹鋼X射線能譜定量分析方法研究.pdf

1、配備X射線能譜儀的掃描電子顯微鏡不僅能夠觀察材料的微觀形貌還可對(duì)微區(qū)成分進(jìn)行分析,現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于材料分析測(cè)試領(lǐng)域。提高能譜儀定量分析的準(zhǔn)確度,是科學(xué)研究和工業(yè)生產(chǎn)的重要課題。
　　本論文對(duì)能譜儀的物理基礎(chǔ)、工作原理、定性分析、定量分析等方面進(jìn)行了闡述,并圍繞如何獲得不銹鋼標(biāo)樣定量分析的最佳工作條件以及提高定量分析準(zhǔn)確度展開(kāi)研究,得到如下結(jié)論:
　　1.對(duì)選用的不銹鋼光譜標(biāo)樣進(jìn)行不均勻性檢驗(yàn),結(jié)果表明:在散焦束前提下,硅、錳、

2、鉻、鎳4種元素的成分分布符合標(biāo)準(zhǔn)GB/4930-2008的要求。
　　2.測(cè)試條件對(duì)定量分析結(jié)果影響的研究,結(jié)果顯示:低含量元素受加速電壓變化的影響較大;在能譜譜圖低能量端,元素計(jì)數(shù)隨加速電壓增大而減小;特征X射線能量較大的元素,其計(jì)數(shù)隨加速電壓增大而增大;計(jì)數(shù)率和死時(shí)間隨工作距離增大而減小;隨束斑直徑增大計(jì)數(shù)率升高,系統(tǒng)死時(shí)間增大;采譜時(shí)間變化,低含量元素和碳元素受其影響較大,多數(shù)元素的計(jì)數(shù)會(huì)隨采譜時(shí)間延長(zhǎng)而增大。
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3、.不同測(cè)試條件的研究結(jié)果表明:本課題選用設(shè)備的最佳工作條件為:加速電壓:20kV;工作距離:10mm;束斑直徑:4.5μm;采譜時(shí)間:100s。
　　4.正交試驗(yàn)法分析測(cè)試條件的權(quán)重研究,結(jié)果顯示:在所研究的各測(cè)試條件中,加速電壓的影響最為顯著。
　　5.樣品表面狀態(tài)對(duì)定量分析結(jié)果的影響,研究結(jié)果表明:粗糙表面的定量分析結(jié)果偏大;吸收效應(yīng)修正值A(chǔ)隨樣品傾斜角度增大而增大,且愈靠近1。
　　6.在獲得最佳測(cè)試條件下,修正