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文檔簡介
1、由于集成電路規(guī)模的持續(xù)增大和器件特征尺寸的持續(xù)減小,缺陷的存在對集成電路版圖的影響不斷增大。關鍵面積的概念描述了集成電路版圖設計對存在缺陷的敏感程度。近年來,關鍵面積研究已成為集成電路版圖優(yōu)化和成品率估計的核心內(nèi)容。在關鍵面積提取算法中,結(jié)合數(shù)學形態(tài)學的關鍵面積提取算法因具有時間復雜度低、精度高和應用范圍廣等優(yōu)點而受到廣泛關注。本文對短路關鍵面積計算模型和提取算法進行了深入研究,主要取得了以下研究成果:
1.對短路關鍵面積計算
2、模型進行了研究。針對冗余物缺陷導致的短路故障,在深入研究分析缺陷特征和已有計算模型的基礎上,提出了一種基于缺陷特征的短路關鍵面積新模型。該模型結(jié)合數(shù)學形態(tài)學膨脹運算的具體實現(xiàn)過程,同時考慮了缺陷和線網(wǎng)的特征,能夠減少短路關鍵面積的計算時間。
2.根據(jù)提出的新模型設計并實現(xiàn)了對應的提取算法。算法的一般過程:首先,獲取缺陷的特征尺寸和版圖中每個線網(wǎng)的范圍;其次,確定缺陷特征尺寸和線網(wǎng)范圍的關系;最后,根據(jù)此關系和膨脹運算的具體實現(xiàn)
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