金屬納米團簇的束流密度控制研究.pdf

1、隨著超短超強激光的不斷發(fā)展，團簇與激光相互作用引起研究者的廣泛關(guān)注。團簇的自身特性對激光與團簇相互作用效果影響很大。束流密度是金屬納米團簇束流的特征參數(shù)之一，束流密度的大小直接影響團簇束流與強激光作用的物理現(xiàn)象信號強度。因此，制備出束流密度可控、可測量的金屬納米團簇束流十分重要。采用等離子體氣相凝聚技術(shù)并結(jié)合差分抽氣技術(shù)產(chǎn)生金屬納米團簇束流，然后在襯底上沉積出納米團簇薄膜，利用石英晶體膜厚監(jiān)測儀在線測量團簇束流沉積速率，通過數(shù)學計算可以

2、間接獲得金屬團簇束流密度。研究束流密度與濺射電流、結(jié)露區(qū)長度、氬氣流量等工藝參數(shù)之間的關(guān)系。另外，實驗建立了團簇束流靜電場聚焦系統(tǒng)，探索聚焦電場的形狀及電場強度等參數(shù)對聚焦效果的影響。論文研究的具體內(nèi)容及結(jié)論如下：
　　1.利用納米團簇源在超高真空團簇束流沉積室中獲得了沉積速率可控的金屬銅和銅金合金納米團簇束流，并利用石英晶體薄膜在線監(jiān)測儀在線測量薄膜沉積速率。
　　2.建立了團簇薄膜沉積速率與團簇束流密度關(guān)系的數(shù)學模型。<