一種微陀螺儀的微分方程模型及其干擾因素的研究.pdf

1、硅微型振動陀螺儀是隨著微電子技術(shù)和微機械加工技術(shù)的發(fā)展而研制出的一類新型角速率傳感器。這類陀螺儀在工作時，用微幅振動代替高速旋轉(zhuǎn)，從而使它可以具有體積小，重量輕以及成本低，可靠性高，易于批量生產(chǎn)和便于與電子線路集成等傳統(tǒng)陀螺儀無法比擬的優(yōu)點。預(yù)計在以后的幾年里這類新型角速率傳感器——硅微型振動陀螺儀——也會作為一種成熟的產(chǎn)品廣泛的應(yīng)用于軍用和民用的許多領(lǐng)域。 陀螺儀性能的好壞直接制約著它的用途。因此，如何提高硅微型振動陀螺儀的精

2、度，是它走向市場首要解決的問題。而要提高硅微型振動陀螺儀的精度，首先要掌握硅微型振動陀螺儀的工作機理。為此本文研究音叉式(梳狀)線振動硅微陀螺儀，建立了相應(yīng)的數(shù)學(xué)模型，分析了它的工作規(guī)律。本文利用剛體轉(zhuǎn)動的歐拉動力學(xué)方程，詳細地推導(dǎo)了音叉式(梳狀)線振動硅微陀螺儀精確的微分方程模型。 由于音叉式(梳狀)線振動硅微陀螺儀用于驅(qū)動和用于檢測的兩部分振動分別是線振動和角振動，所以該微分方程模型包含兩個方程，分析起來比較困難。本文利用陀