基于計算機視覺的mcm基板缺陷檢測方法研究

1、分類號密級UDC編號桂林電子科技大學碩士學位論文題目基于計算機視覺的基于計算機視覺的MCMMCM基板缺陷檢測方法研究基板缺陷檢測方法研究（英文）（英文）ResearchonComputerVisionofAutomaticInspectionfMCMSubstrates研究生姓名:李艷指導教師姓名、職務指導教師姓名、職務:顏學龍申請學位門類:工學碩士學科、專科、專業(yè):測試計量技術(shù)及儀器提交論文日期:2006年4月論文答辯日期:2006年

2、6月年月日萬方數(shù)據(jù)摘要I摘要傳統(tǒng)的MCM（MultichipModule）基板的質(zhì)量檢測大部分采用人工目檢，該方法不但存在檢測質(zhì)量人為因素影響大、勞動強度高、工作效率低等問題，而且對于大批量生產(chǎn)而言，采用人工目測進行檢測也是不現(xiàn)實的。而采用自動光學檢測系統(tǒng)（AutomatedOpticalInspection，AOI）能克服人工檢測帶來的不利因素，提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本。本文結(jié)合相關(guān)學科領(lǐng)域的研究成果，對MCM基板缺陷視覺檢測方法進

3、行了有意益的探索，將機器視覺、圖像處理、數(shù)學形態(tài)學以及模式識別等領(lǐng)域相關(guān)理論應用于本文的視覺檢測系統(tǒng)中。文中分三大部分完成對MCM基板的檢測，它們分別是：基板圖像的預處理、缺陷提取和缺陷識別。在MCM基板視覺檢測系統(tǒng)中，圖像提取的質(zhì)量和對瑕疵圖像的快速而準確的識別是達到實時檢測的關(guān)鍵因素。針對現(xiàn)行MCM瑕疵檢測方法的缺點，本文提出了一種結(jié)合數(shù)學形態(tài)學的容差模板比較法對MCM缺陷圖像進行提取，該方法以數(shù)學形態(tài)學理論為基礎，有效地結(jié)合了參考