多晶硅過程氣分析儀 還原爐尾氣分析儀

1、郭18629524689多晶硅過程氣分析儀多晶硅過程氣分析儀還原爐尾氣分析儀還原爐尾氣分析儀多晶硅露點(diǎn)分多晶硅露點(diǎn)分析儀析儀多晶硅氫氣分析儀多晶硅氫氣分析儀多晶硅尾氣各主要成分的體積分?jǐn)?shù)分別為，HCl30%；H264.2%；SIHCl35.4%；其他0.2%。多晶硅尾氣均為可回收的產(chǎn)品或可循環(huán)使用的原料。對(duì)尾氣進(jìn)行有效的治理，不僅可以提高原料的利用率，還可以降低三廢的排放量。為了合理治理尾氣，必須根據(jù)尾氣的特性、成分、壓力等，選擇適當(dāng)?shù)?/p>

2、工藝流程和技術(shù)條件。多晶硅過程氣體分析系統(tǒng)可連續(xù)監(jiān)測(cè)工業(yè)硅提純的三氯氫硅氫還原工藝中氫氣的氧含量和微水含量以及在尾氣管道保護(hù)氣氮?dú)獾难鹾亢臀⑺?，從而保證最后提煉超純硅的品質(zhì)。采用變壓吸附工藝，一次性去除所有雜質(zhì)，確保分析效果準(zhǔn)確性。預(yù)處理單元中利用吸附劑吸附雜質(zhì)組分的能力遠(yuǎn)強(qiáng)于吸附氫氣能力，可以將混合氣體中的氫氣提純。本系統(tǒng)根據(jù)我國多晶硅生產(chǎn)線中高塵、高腐蝕的惡劣工況條件。系統(tǒng)特點(diǎn)1.取樣系統(tǒng)為可插拔式探頭，方便更換濾芯2.過濾器

3、可過粉塵和硅粉，過濾精度為0.1μm3.大屏幕現(xiàn)場(chǎng)就地顯示4.系統(tǒng)自動(dòng)標(biāo)定，無須人工校驗(yàn)；5.主機(jī)采用純進(jìn)口檢測(cè)元件；6.系統(tǒng)兼容性強(qiáng)大7.手自動(dòng)一體，故障自檢；技術(shù)參數(shù)1)型號(hào)：TR97002)輸出：420mA、RS232或4853)響應(yīng)時(shí)間：T9015s4)工作溫度：20~60郭186295246895)電源：24VDC6)防護(hù)等級(jí)：IP657)系統(tǒng)部件：316L不銹鋼8)防爆標(biāo)準(zhǔn)：符合EExiaIICT4微水分析儀：a.測(cè)量范圍：