

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文檔簡介
1、摘要二。。..............…….............................……Abs七ract....................................................……引言……’.”.’.’.........................................……第一章NORFlash概述.......................................
2、.……第一節(jié)NFlash的基本結構第二節(jié)NFlash的工作原理..............................……..............................……第二章45nmNFlash的介紹二...............................……第一節(jié)產品特點介紹……’.‘”””.””’..…’二”....……第二節(jié)失效分析中的難點……...……第三章45nmNFlash實現規(guī)模生產驗證過程和
3、失效分析的應用...……第一節(jié)生產驗證目標的介紹.……...……第二節(jié)驗證過程中的遇到的問題和解決方案……...……3.2.1篩選良率的提升……”’.”.……....……3.2.2質量驗證DPM的降低…….....……3.2.3封裝的可靠性驗證中失效芯片的分類……......……第三節(jié)實現規(guī)模生產驗證前后數據的比較.目.................……第四章總結與展望二口...............................
4、.........……第一節(jié)研究結論.........................................……第二節(jié)展望….........................................……參考文獻…….........................................……致謝…….....................................……O…。1二2二4二6二6,915一1
5、5一172O.20一222332394648485O5153Ab5tractFlashmemory,astheehiP七0storedataandaPPlieations,15nowwidelyusedinmobilephones,storageeards,industrialequipments,digitalProduetsete.工n1984,FujioMasuokafromToshiba,wasthefirstonetoerea
6、teanideaofFlashmemories.ThefeatureofFlashineludesnon一volatileandfastsPeed.Also,iteanendure1millionProgramanderaseeyelingswithadatastoragePeriodaslongas10years.FlasheanbedividedintoNORandNAND.NOR15usuallyusedtos七oreaPPlie
7、ationsandit15usefulinmobilePhone,automobileeleetroniesandnetworkingwhileNAND15targetedforstoragedevieesineludingSDeard,USBs七ieks,ete.WiththedeveloPmentofFABProeess,theNORFlashhasenteredaneweraof45nmfrom65nm.Asthefirs七45n
8、mNORFlashintheindustry,itwi11bringusgreatehallengesduringthequalifiea七ionProeess.Tobeginw1thaninunatureProeessandtoendwiththeeaPabilityofrunningmassproduetion,muehimProvementhas七0bemadeinbetween.Amongthemethodsofmakingif
9、nprovements,FailureAnalysis(FA)15aneffectiveone.Andal50eveniftheProduethasbeenrunninginmassProduetionstage,failureanalysis15stillthemainmethodindealingwi七11eustomerreturns.Itprovidesteehniealsupporttotherequirementofeont
10、inuousimprovement.Thequalifiea七ionbeforemassproduetionusuallyfollowsbelowsteps:Firstofall15七。setthequalityandreliabilitygoal.Thentocollec七dataandanalyzethefailures,reporttouPstreamdePartmentssuehasFABabouttheanalysisresu
11、lt.LetthemmaketheeorresPondingactionstoimProve七hequalityandreliabilityoftheproduets.Thus,finallyachievethegoalandmakeitPossiblefortheProduetion.The七hesis15devidedinto4ehap七ers.Atfirst,itintrodueesthebasicofNORFlash,the45
12、nmnewted飛nol一ogyandthecorrespondil一堪changes.Theni七su朋arizesthefailureanalysisdonebeforeaehievingProduetionfor45nmNORFlashinordertodemonstratehowtoapp]ythebasicPrineiplesoffailureanalysistothenewteehnology.Failureanalysis
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