TFT基板表面缺陷自動光學(xué)檢測一維DFT算法研究.pdf

1、隨著TFT-LCD向大尺寸、輕薄化和高分辨率的方向發(fā)展，制造過程中出現(xiàn)各種顯示缺陷的幾率大大增加，為了提高制造質(zhì)量，采用自動光學(xué)表面缺陷檢測技術(shù)及裝備已經(jīng)成為當(dāng)今面板顯示制造產(chǎn)業(yè)不可缺少的手段，但TFT-LCD前段Array制程中的TFT基板的表面缺陷檢測非常困難。因為TFT基板中規(guī)則排列著水平的門線和垂直的數(shù)據(jù)線，從而構(gòu)成了其表面圖像中重復(fù)的紋理背景，這對缺陷的檢測產(chǎn)生嚴(yán)重干擾，傳統(tǒng)的邊緣檢測和閾值分割等方法很難直接應(yīng)用到該類缺陷的檢

2、測中，必須在不影響缺陷原始特征的情況下消除紋理背景，才能提高檢測缺陷的成功率。
　　為了提高高世代Array制程中TFT基板的自動光學(xué)表面缺陷檢測性能，論文系統(tǒng)地分析和總結(jié)了一維DFT的TFT基板表面缺陷自動光學(xué)檢測算法存在的問題，從理論與實踐方面深入研究了一維DFT算法中的截斷效應(yīng)的改善技術(shù)、參數(shù)的自動選取和光照不均勻校正方法。搭建了TFT基板表面缺陷自動光學(xué)檢測實驗平臺，針對五種TFT基板表面缺陷自動光學(xué)檢測算法進(jìn)行了比對實驗

3、，提高了TFT基板表面缺陷自動光學(xué)檢測技術(shù)的準(zhǔn)確率。
　　論文主要研究內(nèi)容和創(chuàng)新工作如下:
　　1.提出了能表征頻譜泄漏程度的計算模型，分析了簡單周期信號頻譜分析中的頻譜泄漏、理想TFT基板線掃描圖像（復(fù)雜周期信號）頻譜分析中的頻譜泄漏問題，討論了實際TFT基板線掃描圖像（近似復(fù)雜周期信號）頻譜分析中的頻譜泄漏問題，建立了頻譜泄漏程度和截斷長度之間的關(guān)系，給出了一維DFT算法中截斷效應(yīng)改善的方法。
　　2.研究了周期△

4、x和鄰域r這兩個關(guān)鍵參數(shù)的自動選取方法。對于周期△x的自動選取，利用數(shù)學(xué)統(tǒng)計對一維無缺陷TFT基板圖像進(jìn)行處理，通過提取峰值位置、排序、計算間距和統(tǒng)計次數(shù)，得到準(zhǔn)確的周期△x，并用不同長度、不同分辨率和不同光照的TFT基板行圖像進(jìn)行分析驗證。對于鄰域r的自動選取，首先對無缺陷的TFT基板行圖像的每一行經(jīng)過預(yù)處理，再計算其灰度共生矩陣，然后提取灰度共生矩陣的均勻度屬性，最后計算不同r時的均勻度差值，最大差值所對應(yīng)的r就是最佳鄰域;實驗對不

5、同長度的非整周期、整周期、非整周期補整的圖像進(jìn)行處理，從獲取的r可知，在相同的工作環(huán)境下，非整周期補整后的r值和整周期的r值相同，并將這一結(jié)果應(yīng)用到實際缺陷檢測中。
　　3.分析了一維DFT算法中小波變換的光照不均勻校正的不足，先后分別提出了光照不均勻校正的二次曲線擬合法和平滑濾波法、并在此基礎(chǔ)上提出了一種平滑擬合法，最后針對實際TFT基板表面行圖像長度較長時，又提出了一種平滑分段擬合法。通過大量的實驗研究，研究結(jié)果表明平滑擬合法