基于自適應(yīng)控制的光柵刻劃?rùn)C(jī)長(zhǎng)效主動(dòng)與被動(dòng)復(fù)合隔振方法研究.pdf

1、衍射光柵是光譜儀器中的核心部件，大面積高精度的衍射光柵在許多高精尖技術(shù)領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用價(jià)值。而用來(lái)制作大面積高精度刻劃光柵的刻劃?rùn)C(jī)本身就是一種具有超高精度的設(shè)備，被為精密機(jī)械之王。光柵刻劃?rùn)C(jī)不僅自身結(jié)構(gòu)復(fù)雜，其穩(wěn)定運(yùn)行對(duì)環(huán)境的要求極為苛刻，對(duì)其精度可造成影響的因素非常多，其中環(huán)境振動(dòng)對(duì)光柵刻劃?rùn)C(jī)的穩(wěn)定運(yùn)行造成了不可忽視的影響，環(huán)境振動(dòng)哪怕是很細(xì)微的振動(dòng)都可能造成光柵刻劃?rùn)C(jī)的刻劃精度，本文將主要從光柵刻劃?rùn)C(jī)基座隔振方面入手進(jìn)行研究，主要

2、完成的工作內(nèi)容如下:
　　(1)對(duì)光柵刻劃?rùn)C(jī)所處的環(huán)境進(jìn)行調(diào)研，充分調(diào)研光柵刻劃?rùn)C(jī)實(shí)驗(yàn)室及其周圍可能存在的振動(dòng)因素。對(duì)各種振動(dòng)的來(lái)源、傳播方式、頻率大小進(jìn)行分析，并提出一些相應(yīng)的隔振策略，對(duì)光柵刻劃?rùn)C(jī)實(shí)驗(yàn)室人員走動(dòng)產(chǎn)生的振動(dòng)進(jìn)行較詳細(xì)的理論分析。
　　(2)對(duì)光柵刻劃?rùn)C(jī)進(jìn)行隔振設(shè)計(jì)時(shí)，著重考慮地基傳遞進(jìn)來(lái)的振動(dòng)，由于被動(dòng)隔振具有諸多優(yōu)點(diǎn)，而且空氣彈簧更是具有良好的隔振性能，本文為光柵刻劃?rùn)C(jī)的基座嘗試了設(shè)計(jì)單層被動(dòng)隔振系統(tǒng)和雙