基于自適應控制的光柵刻劃機長效主動與被動復合隔振方法研究.pdf

1、衍射光柵是光譜儀器中的核心部件，大面積高精度的衍射光柵在許多高精尖技術領域有著重要的應用價值。而用來制作大面積高精度刻劃光柵的刻劃機本身就是一種具有超高精度的設備，被為精密機械之王。光柵刻劃機不僅自身結構復雜，其穩(wěn)定運行對環(huán)境的要求極為苛刻，對其精度可造成影響的因素非常多，其中環(huán)境振動對光柵刻劃機的穩(wěn)定運行造成了不可忽視的影響，環(huán)境振動哪怕是很細微的振動都可能造成光柵刻劃機的刻劃精度，本文將主要從光柵刻劃機基座隔振方面入手進行研究，主要

2、完成的工作內容如下:
　　(1)對光柵刻劃機所處的環(huán)境進行調研，充分調研光柵刻劃機實驗室及其周圍可能存在的振動因素。對各種振動的來源、傳播方式、頻率大小進行分析，并提出一些相應的隔振策略，對光柵刻劃機實驗室人員走動產生的振動進行較詳細的理論分析。
　　(2)對光柵刻劃機進行隔振設計時，著重考慮地基傳遞進來的振動，由于被動隔振具有諸多優(yōu)點，而且空氣彈簧更是具有良好的隔振性能，本文為光柵刻劃機的基座嘗試了設計單層被動隔振系統(tǒng)和雙