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文檔簡介
1、靜電放電(ElectroStatic Discharge, ESD)在集成電路產(chǎn)業(yè)的電路失效中占有較大的比重,本文重點討論了集成電路片上ESD防護器件設計與分析。
首先,本文對ESD現(xiàn)象進行了簡單介紹,分析了ESD的一些基本理論,其中詳細討論了ESD失效理論、ESD模型理論、ESD測試理論以及ESD防護理論,為集成電路片上ESD防護器件的設計提供理論基礎。
接著,本文討論了兩種常用的ESD防護器件。作者首先分析了二極
2、管的防護原理,對它的防護特性進行了模擬仿真,并簡單討論了它的版圖設計方法。隨后,作者又分析了柵接地NMOS(Gate Grounded NMOS, GGNMOS)的防護原理,通過模擬仿真分析了其防護特性。此外,還討論了幾個影響GGNMOS防護性能的參數(shù)及其版圖設計要點。
最后,本文討論了可控硅(Silicon Controlled Rectifier, SCR)器件的防護設計,介紹了幾種提高SCR器件防護性能的設計方法。此外,
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