深亞微米單元工藝參數(shù)提取和建模技術(shù)研究.pdf

1、深亞微米工藝條件下的單元工藝參數(shù)提取和建模是一個極其復(fù)雜的過程,開展這方面的研究工作具有重要的學(xué)術(shù)意義和很高的實用價值.該文給出了深亞微米工藝條件下單元工藝參數(shù)提取和建模的完整流程,該流程能快速精確地完成單元工藝參數(shù)提取和建模.文中提出的激勵波形約簡算法、輸入信號驅(qū)動算法、測試點動態(tài)插入算法和結(jié)果表優(yōu)化壓縮算法等,達(dá)到了國際同類研究的先進(jìn)水平.該文實現(xiàn)了單元工藝參數(shù)提取的激勵波形生成算法,該算法在分析單元函數(shù)功能的基礎(chǔ)上,通過借鑒多維路

2、徑敏化算法,從邏輯上得到參數(shù)提取的激勵波形.對于單元引腳較多的情況,算法通過分析電路中間節(jié)點的充放電狀態(tài),提出了激勵波形約簡算法,通過激勵波形精簡,大大地加快了工藝參數(shù)提取過程.論文研究了深亞微米工藝下的格點偏離現(xiàn)象,解決了深亞微米工藝條件下的輸入信號定位問題,提出的輸入信號驅(qū)動算法能快速精確地得到與實際信號一致的輸入激勵信號,很好地提高了工藝庫參數(shù)的精度.在分析深亞微米工藝下器件模型的基礎(chǔ)上,文章推導(dǎo)了單元工作曲面范圍的計算公式,給出

3、了參數(shù)提取測試點的選擇算法.通過計算單元在各測試狀態(tài)下的最大、最小輸出負(fù)載,輸入信號的最大、最小斜率,算法能精確計算單元的工作曲面范圍;通過參數(shù)測試點的動態(tài)插入,算法能獲得最佳的參數(shù)測試點,最大程度地表征整個參數(shù)曲面空間.對于深亞微米工藝下參數(shù)提取的冗余測試現(xiàn)象,文中給出了參數(shù)表的優(yōu)化壓縮算法,其結(jié)果表能精確表征整個參數(shù)曲面空間并足夠簡練.文章最后討論了單元的信號完整性問題.論文研究了IR Drop對單元時序參數(shù)的影響,給出了相應(yīng)的表示