0.13μm集成電路光刻工藝平臺優(yōu)化和光刻分辨率增強(qiáng)技術(shù)的研究

1、目 錄摘 要 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

2、83; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · .· · · · · · · … …A bs t r a c t · · .

3、 . · · · · · · · · · · · · · … … 。 。 · … … ， . . . . · · · . . . . . . . . . . . . · · … … 2第 一 章 引言 · · ·

4、83; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

5、 · · · · · · · · · · · · · · · … … 3第 一 節(jié) 集成 電路 光刻 技術(shù) 概 述 · · · · · · · · · · · ·

6、83; · · · · · · · · · · · · · · · · · · … …第 二 節(jié) 光刻技 術(shù) 在集 成 電路 中的作 用 · · · · · · · · ·

7、; · · · · · · · · · · · · · · · · … …第 三 節(jié) 光 刻 工 藝 的重 要 參 數(shù) · · · · · · · · · · ·

8、83; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 9第 四節(jié) 本 文研 究 的主 要 內(nèi)容 和方 向 · · · · · · 

9、3; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 10第 二章 0 . 13 林m 工 藝平 臺黃 光 工 藝介 紹 · · · · · · 

10、3; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 12第 一 節(jié) 光 刻 設(shè) 備 介 紹 · · · · .· · · ·

11、83; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 12第 二 節(jié) 光 刻 工 藝

12、流 程 介 紹 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · &#

13、183; · · · … … 19第 三 節(jié) 光刻 工 藝 的評 價標(biāo) 準(zhǔn) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

14、 · · · · · · · … … 30第 四 節(jié) 小 結(jié) · · · · · · · · · · · · . · · · · · · · · · ·

15、; · · · · · · .· · · · · · · · · · · · · · · · … … 33第 三 章 0.13 協(xié)m 顯 影 工 藝 的 優(yōu) 化 · · · · &

16、#183; · · · · · · · · · · · .· · · · · · · · · · · · · · · · … … 4第 一 節(jié) 顯 影 的化 學(xué) 組 分

17、和 顯 影 的微 觀 過 程 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 4第 二 節(jié) 顯 影工 藝 的顯 影 噴 嘴 (D evN ozzle) 的改善 · · ·

18、 · · · · · · · · · … … 36第 三 節(jié) 工 藝 條件 相 關(guān) 參數(shù) 方 面 優(yōu) 化 · · · · · · · · · · · · · · · · ·

19、83; · · · · · · · · … … 6第 四節(jié) 小 結(jié) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

20、 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … O第 四章 分 辨 率增 強(qiáng)技 術(shù) · · · &

21、#183; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 

22、3; · · · · · … … 1第 一 節(jié) P SM 印ha seshif tm ask)的應(yīng) 用 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

23、83; · · · · … … 51第 二 節(jié) 光 學(xué)鄰 近 修 正 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 

24、3; · · · · · · · · · · · · · … … 53第 三 節(jié) 偏 軸 光源 光 刻 · · · · · · · · · · · · · · ·

25、; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 5第 四節(jié) 抗 反射 涂 布 · · · · ·

26、83; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

27、 · · · … … 6第 五 節(jié) 小 結(jié) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · &

28、#183; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 8第 五 章 結(jié) 論 · · · · · · · · ·

29、83; … … ， · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · ·

30、· · · … … 9參 考 文 獻(xiàn) · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · 

31、3; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 60致 謝 · · · · 

32、3; · · · · · · · · · · · · · · · · · · · .· · · · · · · · · · · ·

33、 · · · · · · · · · · · · · · · · · · · … … 61A b stra e tW it ht h ein e r e a s in g l yd e v e l op fn e n to ft h eICp r o

34、 e e s s ， t h ek e ys t r u e t u r eo fIC1 5b e e o m i n gsm a l l e ra n dsm a l l e r . T h es e m ie o n d u e t o rIC sf o l l o wt h er o a d m a pt h a tr e q u i r e ssm a l lv o l u m eh i g hin 七 e n s i t y

35、h i g h s p e e d a n d l o w p o w e rd i s s iP a t i o n . N o w a d a y sICh a se n t e r e dt h eu lt r ala r g ese m i e o n d u e t o rin t e g r a t e de i r e u i t sw h i e hb r i n g st e e h n i q u eP h a s

36、efr o ms u b 一 m i e r o fn e t e rt od e e Psu b 一 m i e r o m e t e r .F o rt h eP er f o r m a n e ea n dr e l ia b i l i t yo ft h eI Cim p r o v e m e n t ， t h eP r o e e s so ft h e 工 Csh o u l db eh ig h lyr e q

37、u e s t e d . S u r e ly ， a st h ek e ys t e Po ft h eICm a n u f a e tu r ep r o e e s st h el i t h o g r a p h1 5f a e in gt h eg ia n te h a l l e n g ew h i e h15n o t o 門lyth es o lu t io nt oo v e r e o m et h et

38、 e e h n i q u ei s s u eb u ta l s ot h ea m o u n 七 5o fm o n e yf o re q u iP m e n tu P d a t e .50th e r e15an ewsub jee ttha thowtor ea ehth ePr o ee s s 七 ar g e tw it hou tt h ep r o e e s se qu iP m e n tu p d a

39、 t e . T h em a ins o l u t i o n1 5t h a tm o d i f i e a t i o no ft h eh a r dw a r ea n do P t im i z a t i o no ft h ep r o e e s se o n d i t i o n . E sP e e ia l l y 七 h em a i n s t r e a mm a n u f a e t o r yl

40、 in ei n l a n da r e8in e ht e e h n i q u e st h a ta r ef a e i n gt h et e e h n i q u el e v e lfr o m0 . 3 5 協(xié) mt o0 . 1 1p m ， t h ei s su eh a sm o r er e a l i s t i em ean in g . T heth esisintrodu eether egu l

41、arRET (r eso lu t ionenha neem en tteehno log y) ， thr opghana ly sisan deom par ethem ，sueha sPSMO PCOA Ia n dA R C .M e a n w h il et h eth e s i st h r o u g ht h es t u d yo fe x P e r im e n td a t ao ft h ed e v e

42、l o P ， t r yt oe o v e rt h ei s su eo ft h en e wP r o e e s ss t a g er e q u i r e m e n tb yn o z z l et iPi m P r o v em e n ta n dr e e i P eo P t i m i z e . Inth ee n d ， w eg e tt h ee o n e lu s io nt h a tt h

43、 ee o m b in a t i o no fL Dn o z z l ea n ddo u b l es e a nr e e iP e1 5t h eb e s ts o lu t i o nt oo v e r e o m et h e q 且 e s t io n . W ea l s og e tm a n yP r o e e s sf a e t o r st h a te a nk e e PP r o e e s

44、gs t a b l ea n de o n t r o ] l a b l e ， fo 丫 t h en e e do f0. 13pmp r o e e s sr e q u i r em e n ta n dps ef o rt h eP r o d p e 七 m a n u f a e 七 u r e .K e 妞 o r d s : s em i e o n d u e tP r o e e s sl i t h o g