柔性微透鏡陣列的制作及其光學(xué)性質(zhì)研究.pdf

1、近年來(lái),柔性光電系統(tǒng)由于其獨(dú)特的柔韌性和延展性,在可折疊、能彎曲等圖像顯示,便攜式太陽(yáng)能電池等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。因此有必要針對(duì)柔性光電系統(tǒng)中的重要微光學(xué)元件之一的柔性微透鏡陣列進(jìn)行相關(guān)研究。本文基于DMD(Digital Micromirror Device)數(shù)字光刻系統(tǒng),研究如何利用數(shù)字光刻系統(tǒng)制作柔性微透鏡陣列的方法,并對(duì)制作出的柔性微透鏡陣列進(jìn)行了測(cè)試與分析。主要工作如下:
　　首先,對(duì)微透鏡陣列的發(fā)展和現(xiàn)狀、微透鏡陣

2、列的制作方法、柔性微透鏡陣列的發(fā)展前景進(jìn)行了論述,詳細(xì)介紹了幾種微透鏡陣列的制作方法例如直寫(xiě)技術(shù)、二元套刻技術(shù)、灰度掩模技術(shù)以及數(shù)字光刻技術(shù),簡(jiǎn)要介紹了柔性微透鏡陣列的應(yīng)用以及優(yōu)點(diǎn),并對(duì)本文的工作進(jìn)行了簡(jiǎn)要的介紹。
　　其次,介紹了基于計(jì)算機(jī)控制無(wú)掩模的數(shù)字化光刻技術(shù)設(shè)計(jì)微透鏡陣列的方法。在了解標(biāo)量衍射理論設(shè)計(jì)折射型微透鏡的基本理論基礎(chǔ)上,根據(jù)光刻膠種類以及參數(shù),并結(jié)合實(shí)驗(yàn)室的設(shè)備儀器的條件,設(shè)計(jì)柔性微透鏡陣列的蜂窩狀排列方式,進(jìn)

3、一步減小了陣列的占空比,利用MATLAB以及CorelDRAW繪圖軟件繪制出柔性微透鏡陣列的數(shù)字掩模。
　　然后,本文詳細(xì)給出了基于數(shù)字掩模光刻系統(tǒng)制作柔性微透鏡陣列的方法,詳細(xì)剖析了DMD數(shù)字光刻系統(tǒng)各部分的工作原理以及輪廓儀的工作原理,詳細(xì)給出試驗(yàn)中用到的儀器用品的參數(shù)與實(shí)驗(yàn)步驟,給出實(shí)驗(yàn)結(jié)果并對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了誤差分析。
　　最后,對(duì)柔性微透鏡陣列的折射率進(jìn)行了測(cè)試以及部分光學(xué)性質(zhì)進(jìn)行了研究,對(duì)微透鏡陣列的焦距進(jìn)行了計(jì)算